Gesproken tekst vertalen, offlinefuncties, synoniemen, vervoegingen, educatieve spelletjes
Publiciteit
Registreer gratis: toegang tot meer resultaten en functies
dry etching using
Vertaling van "dry etching using" in Duits
Trockenätzen unter Verwendung
A method as set forth in any one of claims 1 to 7, wherein the removal of said sacrificial layer is achieved in the dry etching using oxygen plasma.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei das Entfernen der Opferschicht beim Trockenätzen unter Verwendung eines Sauerstoffplasmas erreicht wird.
The method according to claim 1, characterized in that the steps of forming the first and second etching resistant material layer (10a,10b) employs a material having resistance to dry etching using oxygen plasma.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß bei den Schritten des Herstellens der ersten und der zweiten Schicht aus ätzbeständigem Material (10a, 10b) ein Material eingesetzt wird, das gegenüber Trockenätzen unter Verwendung von Sauerstoffplasma beständig ist.
The method of claim 28, wherein the forming of the hole (232) and the perforating the hole are performed through dry etching using ICP.
Verfahren nach Anspruch 28, wobei das Ausbilden der Vertiefung (232) und das Perforieren der Vertiefung durch Trockenätzen unter Verwendung von ICP durchgeführt werden.
Method according to Claim 4, in the case of which the holes (13) are etched by anisotropic dry etching using a perforated mask, in the case of which thermal oxidation is carried out for formation of the gate oxide (14).
Verfahren nach Anspruch 4, bei dem die Löcher (13) durch anisotropes Trockenätzen unter Verwendung einer Lochmaske geätzt werden, bei dem zur Bildung des Gateoxids (14) eine thermische Oxidation durchgeführt wird.
The method of claim 14, wherein the barrier layer (106) is patterned by dry etching using Ar/Cl 2 as the etching gas.
Verfahren nach Anspruch 14, bei dem die Barriereschicht (106) durch Trockenätzen unter Verwendung von Ar/Cl 2 als Ätzgas gemustert wird.
With dry etching using a laser, it is possible to prevent this problem, which increases the pattern accuracy.
Durch Trockenätzen mit einem Laser kann dieses Problem verhindert und gleichzeitig die Mustergenauigkeit erhöht werden. 2Preis
The method of claim 36, wherein the surface of the recording layer is flattened by dry etching using an inert gas plasma.
Verfahren nach Anspruch 36, bei dem die Oberfläche der Aufzeichnungsschicht durch Trockenätzung unter Verwendung eines Inertgasplasmas geglättet wird.
A process for producing an ink jet head according to claim 11, wherein the formation of the discharging outlet is conducted by means of dry etching using an oxygen plasma.
Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahlkopfes nach Anspruch 11, bei dem die Bildung der Ausstoßöffnung durch Trockenätzen unter Anwendung eines Sauerstoffplasmas durchgeführt wird.
The method as defined in claim 1, wherein the substrate material is an organic polymer film in which the pattern is transferred by selective dry etching using a gas selected from the group consisting of oxygen and a mixture of fluorocarbons and oxygen.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Substratmaterial aus einem organischen Polymerfilm besteht, bei dem die Struktur durch einen selektiven Trockenätzvorgang unter Verwendung eines Gases übertragen wird, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die aus Sauerstoff und einem Gemisch aus Fluorkohlenstoffen und Sauerstoff besteht.
Ga naar Premium voor toegang tot miljoenen vertaalvoorbeelden, onbeperkt woorden opslaan en leren, zonder advertenties.
Synoniemen voor dry etching using in het Engels
Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
Resultaten: 9. Exact: 9. Verstreken tijd: 31 ms.
