The sensor according to one of the claims 6 to 13, characterized in that two opposing sides of said electrolyte are secured on two opposing sides to an etch pit.
Fühler nach einem der Ansprüche 6 bis 13, dadurch gekennzeichnet , daß zwei gegenüberliegende Seiten des Elektrolyten an zwei einander gegenüberliegenden Seiten des Ätztroges befestigt sind.
A method as recited in claim 1 wherein by etching said substrate using said first hard mask layer as an etch mask, a cylindrical or a truncated pyramidal or a truncated conic shaped first etch pit is formed.
Verfahren nach Anspruch 1, bei dem durch Ätzen des Substrats unter Verwendung der ersten harten Maskenschicht als Ätzmaske ein erstes zylindrisches oder pyramidenstumpfförmiges oder kegelstumpfförmiges Ätzgrübchen gebildet wird.
Both HR-EBSD and etch pit analysis show for each normalized radius a higher dislocation density at smaller loads.
HR-EBSD und die Ätzgrübchen Methode zeigen für den normalisierten Radius eine höhere Versetzungsdichte bei kleineren Eindringlasten.
The sensor according to one of the claims 6 to 13, characterized in that said electrolyte (114) is secured on one side to an etch pit (112) and said electrolyte forms a cantilever (125) which extends over said etch pit.
Fühler nach einem der Ansprüche 6 bis 13, dadurch gekennzeichnet , daß der Elektrolyt (114) auf der einen Seite eines Ätztroges (112) befestigt ist und einen Ausleger (125) bildet, welcher sich über den Ätztrog erstreckt.
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