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etch selectivity
Vertaling van "etch selectivity" in Duits
Ätzselektivität
In particular, at a low etch selectivity between the dielectric layer and the auxiliary layer, a large process window for etching is possible by such measures.
Insbesondere bei einer geringen Ätzselektivität zwischen der dielektrischen Schicht und der Hilfsschicht ist durch die genannten Maßnahmen ein großes Prozessfenster beim Ätzen möglich.
It is well known that the etch selectivity in such a case may not be adequate to ensure etching through the layer without destruction of the mask.
Es ist durchaus bekannt, daß in einem derartigen Fall die Ätzselektivität möglicherweise nicht ausreicht, um ein Durchätzen der Schicht ohne Zerstörung der Maske sicherzustellen.
The method of claim 1 wherein said DARC/ESL layer further protects said first dielectric layer by virtue of possessing a high etch selectivity with respect to said photosensitive dielectric layer with respect to said etchant.
Verfahren nach Anspruch 1, worin die DARC/ESL-Schicht ferner die erste dielektrische Schicht aufgrund des Vorhandenseins einer hohen Ätzselektivität im Bezug auf die fotoempfindliche, dielektrische Schicht in Bezug auf das Ätzmittel schützt.
The method of any preceding claim wherein the first etch selectivity and the second etch selectivity differ by a ratio of at least 20:1.
Verfahren nach einem vorhergehenden Anspruch, bei dem sich die erste Ätzselektivität und die zweite Ätzselektivität in einem Verhältnis von wenigstens 20:1 unterscheiden.
Plasma etch reactor with dual sources for enhancing both etch selectivity and etch rate
Plasmaätzreaktor mit doppelter Quellen zur Verstärkung von Ätzselektivität und Ätzgeschwindigkeit
A structure as claimed in claim 1 or claim 2 wherein the barrier layer material has a high etch selectivity to the material of the first insulating layer.
Struktur bzw. Aufbau nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, bei welcher bzw. bei welchem das Abschirmschicht bzw. Sperrschichtmaterial eine hohe Ätzselektivität bezüglich des Materials der ersten Isolierschicht aufweist.
Synoniemen voor etch selectivity in het Engels
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Afbeelding van de dag
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