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etching solution according
Vertaling van "etching solution according" in Duits
Ätzlösung nach
The etching solution according to any preceding claim containing between 200 and 5000 ppm of the fluorinated cyclic surfactant and further containing a diluent selected from the group consisting of acetic acid, ethylene glycol and a C₁ to C₃ alkyl alcohol.
Ätzlösung nach einem der vorhergehenden Ansprüche mit zwischen 200 und 5000 ppm des fluorierten zyklischen Tensids und mit einem Verdünnungsmittel, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die aus Essigsäure, Ethylenglykol und C₁- bis C₃-Alkylalkohol besteht.
Etching solution according to claim 1, wherein silicate is added to the etching solution.
Ätzlösung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Ätzlösung Silikat beigemengt ist.
Etching solution according to claim 1 or 2, wherein the etching solution contains 0.5 to 5 vol.% isopropanol.
Ätzlösung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Ätzlösung einen Isopropanolgehalt von 0,5 bis 5 Vol.% aufweist.
Andere resultaten
Use according to claim 6 in the filtration of an etching solution for electronics.
A method of making semiconductor devices according to claim 1, further comprising stirring the etching solution during etching.
A regeneration process according to claim 1, wherein said removal of said silicon compound from said etching solution is conducted by filtration.
Regenerierungsverfahren nach Anspruch 1, worin die Entfernung der Siliciumverbindung aus der Ätzlösung durch Filtration erfolgt.
The method of separating a plasma display panel according to claim 5, wherein said etching solution contains surface-active agent as an additive.
Verfahren zur Zerlegung einer Plasma-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 5, worin die Ätzlösung als Zusatz einen oberflächenaktiven Stoff enthält.
To produce a pyramidal structure that is as homogeneous as possible, according to the invention it is proposed that the silicon surface be treated with ozone prior to coming into contact with the etching solution.
Zur Erzeugung einer möglichst homogenen pyramidalen Textur wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass die Siliziumoberfläche vor dem Inkontaktbringen mit der Ätzlösung mit Ozon behandelt wird.
Use, according to claim 1, wherein the resin etching solution further comprises at least one of urea and an organic polar solvent.
Verwendung nach Anspruch 1, wobei die Harz-Ätzlösung außerdem Harnstoff oder ein polares organisches Lösungsmittel bzw. beide umfasst.
A method according to Claim 2, wherein said alkaline etching solution comprises as aqueous solution of sodium hydroxide 45% by weight.
A process for chemical etching according to Claim 6, wherein the chemical etching solution further comprises an alkaline component.
Verfahren zum chemischen Ätzen gemäß Anspruch 6, worin die chemische Ätzlösung weiter eine Alkalikomponente enthält.
A method according to claim 4 wherein said etching solution further comprises a cationic, nonionic, anionic or amphoteric surfactant and/or an inorganic salt.
Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Ätzlösung weiterhin aufweist, ein kationisches, nichtionisches, anionisches oder amphoteres oberflächenaktives Mittel und/oder ein anorganisches Salz.
Method according to claims 1-5, characterized in that the etching solution is allowed to flow to the cathode first and subsequently to the anode.
Verfahren nach den Ansprüchen 1-5, dadurch gekennzeichnet, dass die Ätzlösung zunächst zur Kathode und anschließend zur Anode strömen gelassen wird.
Synoniemen voor etching solution according in het Engels
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