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EUV-Lichtquelle
EUV-Lichtquellen
Plasma-EUV-Lichtquelle
EUV-Lichtquellentechnologien
Laser-produced plasma EUV light source with pre-pulse enhancement
Lasererzeugte Plasma EUV-Lichtquelle mit Verstärkung durch einen Vorpuls
Euv light source for a lighting device of a microlithographic projection exposure apparatus
EUV-Lichtquelle für eine Beleuchtungseinrichtung einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
Ushio's high-intensity and high-output EUV light source allows exposure and evaluation of a large field (up to a 6-inch mask) while making a great contribution to shortening of the evaluation period.
Ushios hochintensive und leistungsstarke EUV-Lichtquelle ermöglicht die Belichtung und Auswertung eines großen Feldes (bis zu einer 6 Zoll großen Maske) und leistet gleichzeitig einen großen Beitrag zur Verkürzung des Auswertungszeitraums.
Gas flow measurement apparatus and method for EUV light source
Gasflussmessgerät und Verfahren für EUV-Lichtquelle
This high-brightness EUV light source enables "actinic" mask inspection for EUV lithography that is required for next-generation semiconductor mass-production process.
Die ultrahelle EUV-Lichtquelle ermöglicht die aktinische Maskeninspektion für die EUV-Lithographie, wie sie für die Serienfertigung von Next-Generation-Halbleitern erforderlich ist.
As a light specialist company, it is our pleasure to contribute to the realization of expected social infrastructure through the acceptance of EUV light source for inspection equipment for mass-production process.
Als Lichtspezialist tragen wir mit der Abnahme der EUV-Lichtquelle für Inspektionsausrüstungen in Serienherstellprozessen gerne zur Realisierung der erwarteten gesellschaftlichen Infrastruktur bei.
Much of today's research is conducted with the Energetiq EUV light source.
Ein Großteil der heutigen Forschung mit dem Energetiq EUV-Lichtquelle durchgeführt wird.
This inspection uses an EUV light source and is carried out for the quality control of EUV pattern masks.
Die Inspektion nutzt eine EUV-Lichtquelle und wird zur Qualitätsprüfung von EUV-Muster-Masken eingesetzt.
In July this year, Ushio's EUV light source was accepted by an inspection equipment manufacturer for the first time, for mask inspection uses within the EUV lithography mass-production process.
Im Juli dieses Jahres wurde Ushios EUV-Lichtquelle erstmals von einem Prüfmittelhersteller für die Maskeninspektion im Rahmen der Massenfertigung mit EUV-Lithografie akzeptiert.
EUV LIGHT SOURCE, EUV EXPOSURE SYSTEM, AND PRODUCTION METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
EUV-LICHTQUELLE, EUV-BELICHTUNGSSYSTEM UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERBAUELEMENTEN
SYSTEMS FOR PROTECTING INTERNAL COMPONENTS OF AN EUV LIGHT SOURCE FROM PLASMA-GENERATED DEBRIS
SYSTEM ZUM SCHUTZ INNERER BAUTEILE EINER EUV-LICHTQUELLE VOR PLASMAERZEUGTEN ABLAGERUNGEN
SYSTEMS AND METHODS FOR REDUCING THE INFLUENCE OF PLASMA-GENERATED DEBRIS ON THE INTERNAL COMPONENTS OF AN EUV LIGHT SOURCE
SYSTEME UND VERFAHREN ZUR VERRINGERUNG DES EINFLUSSES VON PLASMAERZEUGTEN FREMDKÖRPERN AUF DIE INTERNEN KOMPONENTEN EINER EUV-LICHTQUELLE
SYSTEMS AND METHODS FOR DEFLECTING PLASMA-GENERATED IONS TO PREVENT THE IONS FROM REACHING AN INTERNAL COMPONENT OF AN EUV LIGHT SOURCE
SYSTEME UND VERFAHREN ZUM ABLENKEN VON PLASMAERZEUGTEN IONEN, UM ZU VERHINDERN, DASS DIE IONEN EINE INNERE KOMPONENTE EINER EUV-LICHTQUELLE ERREICHEN
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