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evaluation test method according
Vertaling van "evaluation test method according" in Duits
Zuverlässigkeitsbewertung nach
The reliability evaluation test method according to claim 32, wherein an oxygen concentration in the atmosphere is not more than 100 ppm.
Prüfverfahren zur Zuverlässigkeitsbewertung nach Anspruch 32, wobei die Sauerstoffkonzentration in der Atmosphäre nicht mehr als 100 ppm beträgt.
The reliability evaluation test method according to claim 21, which is carried out in a state wherein an anisotropic conductive film is provided between the contactor and the semiconductor wafer.
Prüfverfahren zur Zuverlässigkeitsbewertung nach Anspruch 21, welches in einem Zustand ausgeführt wird, in welchem eine anisotrope leitfähige Schicht zwischen dem Kontaktgeber und dem Halbleiter-Wafer vorgesehen ist.
The reliability evaluation test method according to claim 36, wherein the transfer tool includes a magnet to integrate the contactor, the wafer holder and the semiconductor wafer.
Prüfverfahren zur Zuverlässigkeitsbewertung nach Anspruch 36, wobei das Übertragungswerkzeug einen Magnet umfasst, um den Kontaktgeber, den Waferhalter und den Halbleiter-Wafer zu integrieren.
The reliability evaluation test method according to claim 21, wherein an electromigration test and/or a leakage current test is executed as the reliability evaluation test.
Prüfverfahren zur Zuverlässigkeitsbewertung nach Anspruch 21, wobei eine Elektromigrationsprüfung und/oder eine Leckstromprüfung als Prüfung zur Zuverlässigkeitsbewertung ausgeführt wird/werden.
The reliability evaluation test method according to claim 36, which enables data obtained by the evaluation test to be transmitted to the aligner.
Prüfverfahren zur Zuverlässigkeitsbewertung nach Anspruch 36, welches ermöglicht, dass Daten, die durch die Bewertungsprüfung erhalten werden, an die Ausrichtvorrichtung übertragen werden.
The reliability evaluation test method according to claim 21, wherein a plurality of test patterns formed on the wafer are divided into groups, and the reliability evaluation test is executed on the groups simultaneously.
Prüfverfahren zur Zuverlässigkeitsbewertung nach Anspruch 21, wobei eine Vielzahl von auf dem Wafer ausgebildeten Prüfmustern in Gruppen unterteilt ist, und die Prüfung der Zuverlässigkeitsbewertung gleichzeitig an den Gruppen durchgeführt wird.
The reliability evaluation test method according to claim 21, wherein the reliability evaluation test is executed simultaneously for not less than 100 semiconductor devices on the semiconductor wafer.
Prüfverfahren zur Zuverlässigkeitsbewertung nach Anspruch 21, wobei die Prüfung zur Zuverlässigkeitsbewertung für nicht weniger als 100 Halbleiterbauteile auf dem Halbleiter-Wafer gleichzeitig durchgeführt wird.
The reliability evaluation test method according to claim 21, wherein the contactor, wafer holder, and semiconductor wafer are integrated by an aligner, and the integrated contactor, wafer holder, and semiconductor wafer are transferred to the storage section by a transfer tool.
Prüfverfahren zur Zuverlässigkeitsbewertung nach Anspruch 21, wobei der Kontaktgeber, Waferhalter und Halbleiter-Wafer durch eine Ausrichtvorrichtung integriert werden, und die integrierten Kontaktgeber, Waferhalter und Halbleiter-Wafer durch ein Übertragungswerkzeug an den Speicherabschnitt übertragen werden.
The reliability evaluation test method according to claim 21, wherein the reliability evaluation test is executed by an apparatus having a function to apply three kinds of currents, a DC, pulse DC, and AC.
Prüfverfahren zur Zuverlässigkeitsbewertung nach Anspruch 21, wobei die Prüfung der Zuverlässigkeitsbewertung durch eine Vorrichtung mit einer Funktion zum Anlegen von drei Arten von Strömen, eines Gleichstroms, eines gepulsten Gleichstroms und eines Wechselstroms, durchgeführt wird.
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