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Biegeelement
Biegungselement
A mechanical flexure element according to Claim 5, wherein said motion displacement means (26) comprises pressure means including an input fluid pressure (86) for displaceably moving the other (16) of said legs in response to said input fluid pressure.
Mechanisches Biegeelement nach Anspruch 5, wobei die Bewegungsverlagerungseinrichtung (26) Druckmittel aufweist, die einen Eingangsfluiddruck (86) umfassen, um den anderen (16) der Schenkel in Abhängigkeit von dem Eingangsfluiddruck verlagerbar zu bewegen.
Apparatus according to any preceding Claim characterised in that said diaphragm (22) is substantially circular, and the flexure element is oriented with its major dimension radially of the diaphragm.
Vorrichtung nach irgendeinem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet , daß die Membran (22) im wesentlichen kreisförmig ist und das Biegeelement mit seiner Hauptabmessung radial zu der Membran ausgerichtet ist.
Deformable flexure element for strain gage transducer and method of manufacture.
Verformbares Biegungselement für Dehnungsmessstreifenwandler und Verfahren zur Herstellung.
The device of Claim 2 wherein at least one of said first and second dielectric layers (56, 66) further is disposed between the cover (44) and the flexure element (34).
Bauelement nach Anspruch 2, bei dem mindestens die erste oder zweite dielektrische Schicht (56, 66) weiterhin zwischen der Abdeckung (44) und dem Biegungselement (34) angeordnet ist.
An electromechanical transducer according to Claim 15, wherein said movable means includes a magnetic core (62) connected intermediate the flexure element (10) and the magnetostrictive element (64).
Elektromechanischer Meßgrößenumformer nach Anspruch 15, wobei die bewegbare Einrichtung einen Magnetkern (62) aufweist, der zwischen das Biegeelement (10) und das magnetostriktive Element (64) geschaltet ist.
Apparatus according to any preceding Claim characterised in that the rigid substrate (154), the flexure element (156), and cover member (158) are formed of a semiconductor material.
Vorrichtung nach irgendeinem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß das starre Substrat (154), das Biegeelement (156) und das Abdeckelement (158) aus einem Halbleitermaterial gebildet sind.
A mechanical flexure element according to Claim 10, wherein said electromechanical transducer element comprises a magnetostrictive element (64).
Mechanisches Biegeelement nach Anspruch 10, wobei das elektromechanische Meßgrößenumformerelement ein magnetostriktives Element (64) aufweist.
An electromechanical transducer according to Claim 18, wherein said flexure element (10) is U-shaped.
Elektromechanischer Meßgrößenumformer nach Anspruch 18, wobei das Biegeelement (10) U-förmig ist.
Located at one end of the hollow rod (3) is a flexure element (11) which lies between the rod mounting (10) and the caudal end (12) of the hollow rod.
Der Hohlstab (3) besitzt an einem Ende eine Federung (11), die zwischen einer Stabhalterung (10) und dem caudalen Ende (12) des Hohlstabs liegt.
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