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flow type angular velocity sensor
Vertaling van "flow type angular velocity sensor" in Duits
Gasfluß-Winkelgeschwindigkeitssensor
A gas flow type angular velocity sensor according to one of the preceding claims, characterized in that and the resistance bridge circuit, consisting of the pair of heat wires and known resistances, and the amplifier circuit are also formed on the same semiconductor substrates.
Gasfluß-Winkelgeschwindigkeitssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet , daß die Widerstandsbrückenschaltung, bestehend aus dem Paar von Wärmedrähten und bekannten Widerständen, und die Verstärkerschaltung ebenso auf den gleichen Halbleitersubstraten gebildet sind.
A gas flow type angular velocity sensor according to claim 1, characterized in that the materials of the paired heat wires are formed on the semiconductor substrate by vapour deposition.
Gasfluß-Winkelgeschwindigkeitssensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß die Materialien der beiden Wärmedrähte auf den Halbleitersubstraten durch Aufdampfen gebildet sind.
A gas flow type angular velocity sensor according to claim 1, characterized in that each of the paired wires is formed to be of a pattern having a large wire length.
Gasfluß-Winkelgeschwindigkeitssensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß jeder der beiden Drähte in einem Muster mit einer großen Drahtlänge gebildet ist.
A gas flow type angular velocity sensor according to claim 1, characterized in that a bridge portion stretching over the gas path is formed by etching the semiconductor substrate and the paired heat wires are formed on the bridge portion.
Gasfluß-Winkelgeschwindigkeitssensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß ein sich über den Gasweg erstreckender Brückenabschnitt durch Ätzen der Halbleitersubstrate gebildet ist, und daß die beiden Wärmedrähte auf dem Brückenabschnitt gebildet sind.
A gas flow type angular velocity sensor according to claim 1, characterized in that each of the pair of heat wires (51, 52) is formed in form of a bridge stretching over the top surface of the second semiconductor substrate (1).
Gasfluß-Winkelgeschwindigkeitssensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß jeder des Paars von Heizdrähten (51, 52) in Form einer Brücke gebildet ist, die die Deckfläche des zweiten Halbleitersubstrats (1) überspannt.
Gas flow type angular velocity sensor as claimed in claim 1, characterized in that said first portion and said second portion of said sensor body (9) constitute a unitary sensor body (9).
Gasstromwinkelgeschwindigkeitssensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Abschnitt und der zweite Abschnitt des Sensorkörpers (9) einen einheitlichen Sensorkörper (9) bilden.
Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
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