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for cathode sputtering
Vertaling van "for cathode sputtering" in Duits
für Kathodenzerstäubungsanlagen
The use of spin-cast cylindrical hollow bodies to manufacture tube targets for cathode sputtering plants.
Verwendung von schleudergegossenen, zylindrischen Hohlkörpern zur Herstellung von Rohrtargets für Kathodenzerstäubungsanlagen.
Apparatus for cathode sputtering of a metal.
Vorrichtung zur Kathodenzerstäubung eines Metalles.
A tube target for cathode sputtering plants with the tube target having a spin-cast cylindrical hollow body, and the hollow body having a grain structure with columnar crystallites essentially perpendicular to the circumference of the hollow body and being made of silver.
Rohrtarget für Kathodenzerstäubungsanlagen, wobei das Rohrtarget einen schleudergegossenen, zylindrischen Hohlkörper aufweist, und der Hohlkörper eine Komstruktur mit im wesentlichen senkrecht zum Umfang des Hohlkörpers angeordneten, stengeligen Kristalliten aufweist, und aus Silber gebildet ist.
Use according to claim 7, characterized in that the reflector layer is used for optical storage media. Use of an alloy according to any one of the claims 5 or 6 for the creation of a sputtering material for cathode sputtering systems.
Verwendung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Reflektorschicht für optische Speichermedien verwendet wird, Verwendung einer Legierung nach einem der Ansprüche 5 oder 6 zur Bildung eines Zerstäubungsmaterials für Kathodenzerstäubungsanlagen.
Process according to Claim 29 or 30, characterised in that the target element (2, 22) is associated with a substrate (4, 24) to constitute a target for cathode sputtering.
Verfahren nach Anspruch 29 oder 30, dadurch gekennzeichnet, daß das Targetelement (2,22) mit einem Substrat (4,24) verbunden ist, um ein Target für die kathodische Zerstäubung zu bilden.
Tube target for cathode sputtering units comprising a sputtering material which is formed from the silver blank produced according to any of Claims 1 to 6.
Rohrtarget für Kathodenzerstäubungsanlagen mit einem Zerstäubungsmaterial, das aus dem nach einem der Ansprüche 1 bis 6 hergestellten Silberrohling gebildet ist.
Synoniemen voor for cathode sputtering in het Engels
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