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functional semiconductor layer sequence
Vertaling van "functional semiconductor layer sequence" in Duits
funktionelle Halbleiterschichtenfolge
The method involves making a substrate with an epitaxial functional semiconductor layer sequence (2).
Bei einem Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterchips wird eine funktionelle Halbleiterschichtenfolge (2) epitaktisch auf ein Aufwachssubstrat (1) aufgewachsen.
Next, a tensioning layer structure (11) for producing a compressive tension and a functional semiconductor layer sequence (12) which has an active layer (9) are grown.
Nachfolgend werden eine Verspannungsschichtstruktur (11) zur Erzeugung einer kompressiven Spannung und eine funktionelle Halbleiterschichtenfolge (12), welche eine aktive Schicht (9) aufweist, aufgewachsen.
The substrate (1) has a separation zone (4) provided by ion implantation, where the ion implantation follows epitaxial growth into the substrate (1) and takes place via the functional semiconductor layer sequence (2).
Nachfolgend wird eine parallel zu einer Hauptfläche (8) des Aufwachssubstrats (1) liegende Trennzone (4) im Aufwachssubstrat (1) durch Ionenimplantation ausgebildet, wobei die Ionenimplantation durch die funktionelle Halbleiterschichtenfolge (2) hindurch erfolgt.
A method for producing an optoelectronic semiconductor chip comprises the following steps: providing a substrate, depositing a sacrificial layer, depositing a functional semiconductor layer sequence, laterally patterning the functional semiconductor layer sequence, and oxidizing the sacrificial layer in a wet thermal oxidation process.
Ein Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Halbleiterchips umfasst Schritte zum Bereitstellen eines Substrats, zum Abscheiden einer Opferschicht, zum Abscheiden einer funktionellen Halbleiterschichtenfolge, zum lateralen Strukturieren der funktionellen Halbleiterschichtenfolgeund zum Oxidieren der Opferschicht in einem feuchtthermischen Oxidationsprozess.
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