Vertaling van "group III source material" in Duits
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Quellenmaterial der Gruppe III
A method as claimed in any preceding claim, wherein said second group III source material comprises one of chlorine, bromine, fluorine and iodine.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei welchem das zweite Quellenmaterial der Gruppe III Chlor, Brom, Fluor oder Jod enthält.
A method as claimed in any preceding claim, wherein said first group III source material is one selected from the group consisting of trimethyl gallium, triethyl gallium, trimethyl aluminium, triethyl aluminium, trimethyl indium and triethyl indium.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei welchem das erste Quellenmaterial der Gruppe III aus Trimethylgallium, Triethylgallium, Trimethylaluminium, Triethylaluminium, Trimethylindium und Triethylindium ausgewählt wird.
A method as claim in any of claims 1 to 6, wherein said second group III source material is one selected from the group consisting of diethyl gallium chloride, ethyl gallium dichloride, trichlorogallium and diethyl gallium bromide.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bei welchem das zweite Quellenmaterial der Gruppe III aus Diethylgalliumchlorid, Ethylgalliumdichlorid, Trichlorgallium und Diethylgalliumbromid ausgewählt wird.
A method as claimed in claim 1 wherein said first group III source material is mainly used for growing said compound semiconductor and said second group III source material suppresses growth of said compound semiconductor on a surface of said mask.
Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem das erste Quellenmaterial der Gruppe III hauptsächlich zum Züchten des Verbindungshalbleiters verwendet wird und bei welchem das zweite Quellenmaterial der Gruppe III das Aufwachsen des Verbindungshalbleiters auf einer Oberfläche der Maske unterdrückt.
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