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Mechanical load limiters in which plastic deformation of the sensor body is detected by the integrated micro switch.
Mechanische Lastbegrenzer, bei denen die plastische Deformation des Sensorkörpers das Öffnen eines integrierten Mikroschalters bewirkt.
Besides hybrid integrated micro optics and nonlinear crystals form the jet and/or transform the wavelengths into the blue and green spectral region.
Zudem formen hybrid integrierte Mikrooptiken und nichtlineare Kristalle den Strahl beziehungsweise transformieren die Wellenlängen in den blauen und grünen Spektralbereich.
Adjustable image brightness and an integrated micro switch to provide auto power on/off when opening and closing the monitor below a 20 degree angle.
Einstellbare Bildhelligkeit und integrierter Mikroschalter für das automatische Ein- und Ausschalten beim Öffnen und Schließen des Monitors unterhalb eines Winkels von 20 Grad.
In addition, may be formed on the substrate with high overlapping accuracy in the lithographic method by performing exposure with an exposure device according to the present invention, a multi-layer pattern, and therefore it is possible to produce a higher integrated micro device with high yield.
Darüber hinaus kann in dem Lithografieverfahren durch Ausführen einer Belichtung mit einer Belichtungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung ein mehrschichtiges Muster auf dem Substrat mit hoher Überdeckungspräzision ausgebildet werden, und daher ist es möglich, ein höher integriertes Mikrogerät mit hohem Ertrag herzustellen.
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