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interference fringe pattern
Vertaling van "interference fringe pattern" in Duits
Interferenzstreifenmuster
The resulting interference fringe pattern is very complex, and only by simulating the measurement process and solving several inverse problems can the surface shape of the object be deduced.
Das sich ergebende Interferenzstreifenmuster ist sehr komplex, und man kann nur durch Simulation des Messvorgangs und durch das Lösen mehrerer inverser Probleme auf die Oberflächenform des Messobjektes zurück schließen.
The method of claim 8 or 9, wherein the presence of coherent radiation is detected by means of an interferometer (12) and the frequency of the detected coherent radiation is determined in dependance on an interference fringe pattern generated by the interferometer (12).
Verfahren nach Anspruch 8 oder 9, bei dem das Vorhandensein kohärenter Strahlung mittels eines Interferometers (12) erfaßt wird und die Frequenz der erfaßten kohärenten Strahlung in Abhängigkeit von einem Interferenzstreifenmuster, das durch das Interferometer (12) erzeugt wird, bestimmt wird.
Apparatus for counting the number of fringe changes of a varying interference fringe pattern.
Einrichtung zum Zählen der Anzahl der Wechsel von Interferenzstreifen eines veränderlichen Interferenzstreifenmusters.
A measurement method in accordance with any preceding claim, wherein said image of the second interference fringe pattern is a recorded image.
Messverfahren nach irgendeinem der vorangehenden Ansprüche, wobei das Bild des zweiten Interferenzstreifenmusters ein aufgezeichnetes Bild ist.
The detector of claim 1 or 2, wherein said electrical channels generate input signals to a computational device which determines said phase of said interference fringe pattern.
Der Detektor gemäß Anspruch 1 oder 2, bei dem die elektrischen Kanäle Eingangssignale zu einer Rechenvorrichtung erzeugen, die die Phase des Interferenzstreifenmusters bestimmt.
A measurement method in accordance with claim 21, wherein the sequence of images of the interference fringe pattern is captured by a camera at a rate, and the sequence of respective further images is displayed at or substantially at said rate.
Messverfahren nach Anspruch 21, wobei die Folge von Bildern des Interferenzstreifenmusters von einer Kamera bei einer Geschwindigkeit aufgenommen wird, und wobei die Folge von jeweiligen weiteren Bildern bei oder im Wesentlichen bei dieser Geschwindigkeit angezeigt wird.
To simplify the evaluation of an interference fringe pattern, the capillary (2) is situated in a matching liquid (15) whose refractive index corresponds to that of the capillary material.
Zur vereinfachten Auswertung eines Interferenzstreifenmusters befindet sich die Kapillare (2) in einer Anpassflüssigkeit (15), deren Brechungsindex mit dem des Kapillarenmaterials übereinstimmt.
Apparatus according to any of Claims 15 to 17 wherein means is provided to perform a Fourier Transform on an interference fringe pattern and information concerning the Fourier Transform is used to identify the material.
Gerät nach einem der Ansprüche 15 bis 17, bei dem eine Einrichtung vorgesehen ist, um an einem Interferenzstreifenmuster eine Fourier-Transformation durchzuführen, und eine die Fourier-Transformation betreffende Information verwendet wird, um das Material zu identifizieren.
A measurement method in accordance with any preceding claim, wherein the recorded image of the first interference fringe pattern and the image of the second interference fringe pattern are digital images.
Messverfahren nach irgendeinem der vorangehenden Ansprüche, wobei das aufgezeichnete Bild des ersten Interferenzstreifenmusters und das Bild des zweiten Interferenzstreifenmusters digitale Bilder sind.
For end point detection the interference fringe pattern can be simulated for various layers and then compared during etching with the measured signal.
Zur Endpunktbestimmung kann das Interferenzmuster für verschiedene Schichten simuliert werden und dann während des Ätzens mit dem gemessenen Signal verglichen werden.
Apparatus according to claim 4, characterized in that said periodic mask pattern has a period substantially equal to the period of said interference fringe pattern.
Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet , daß das periodische Abdeckungsmuster eine Periode aufweist, die im wesentlichen der Periode des Interferenz-Streifenmusters entspricht.
The apparatus as defined in claim 33, wherein said charge coupled device camera (30) captures each of said plurality of interference fringe pattern images from said filtered monochromatic radiation at different wavelengths.
Die Vorrichtung nach Anspruch 33, worin die Kamera (30) vom Typ einer ladungsgekoppelten Vorrichtung jedes der Vielzahl von Interferenzstreifenmusterbildern von der gefilterten monochromatischen Strahlung bei verschiedenen Wellenlängen aufnimmt.
A method as recited in claim 17, wherein detecting the amounts of light in the first and second portions of the interference fringe pattern includes detecting light reflected by the fringe-producing element.
Verfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass das Detektieren der Lichtmengen in dem ersten und zweiten Teil des Interferenzstreifenbilds das Detektieren von Licht, das von dem Streifen-Erzeugungselement reflektiert wird, umfasst.
Synoniemen voor interference fringe pattern in het Engels
Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
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