Gesproken tekst vertalen, offlinefuncties, synoniemen, vervoegingen, educatieve spelletjes
Publiciteit
Registreer gratis: toegang tot meer resultaten en functies
ion current density
Vertaling van "ion current density" in Duits
Ionenstromdichte
In this case, the ion current density can be freely set independently of the ion energy.
Die Ionenstromdichte ist dabei unabhängig von der Ionenenergie frei einstellbar.
This unit is placed at the edge of the ion beam and measures the ion current density in situ.
Dieses Gerät wird am Rande des Ionenstroms platziert und misst die Ionenstromdichte in situ.
The method of claim 6, characterized in that the temperature of said filament controls ion current density independent of the gas pressure and applied voltage.
Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperatur des Filamentes eine Ionenstromdichte unabhängig von dem Gasdruck und der angelegten Spannung steuert.
Treatment process according to one of the preceding claims, characterized in that the ion current density of the ion beam is of the order of a milliampere per cm 2.
Behandlungsverfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Ionenstromdichte des Ionenstrahlenbündels etwa ein Milliampere pro cm 2 beträgt.
Method in accordance with claim 1, characterised in that the substrate is first bombarded during arc discharge vaporization with ions and the energy and ion current density are chosen for this such that the substrate surface is cleaned and partially removed by ion etching.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat während der Bogenentladungsverdampfung mit Ionen beschossen und dabei die Energie und Ionenstromdichte derart gewählt werden, daß die Substratoberfläche durch Ionenätzung gereinigt und teilweise abgetragen wird.
Method according to claim 1, characterized in that the ion current density and ion energy used during the irradiation achieve ion current induced heating of the silicon substrate (2) and of the silicon oxide layer (1) between 300 and 800ºC.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ionenstromdichte und Ionenenergie während der Bestrahlung so gewählt werden, daß eine Ionenstrahl-induzierte Heizung des Siliziumsubstrates (2) und der Siliziumdioxidschicht (1) von 300 bis 800 ºC erreicht wird.
The method according to Claim 15, characterised in that the plasma sources are operated such that an average ion current density of at least 20 mA/cm 2 can be extracted on the substrate.
Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Plasmaquellen so betrieben werden, dass sich am Substrat eine durchschnittliche Ionenstromdichte von mindestens 20 mA/cm 2 extrahieren lässt.
Device according to one of claims 1 to 6, characterised in that the ion current density on specimen (4) is not greater than 100 mA/cm 2, preferably not greater than 30 mA/cm 2.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6 dadurch gekennzeichnet, dass die Ionenstromdichte an der Probe (4) nicht grösser als 100 mA/cm 2 ist, vorzugsweise nicht grösser als 30 mA/cm 2.
In this way, a plasma is produced with an electron density greater than 1012e/cm3 and ion current density greater than 100mA/cm2.
Auf diesem Wege wird ein Plasma produziert, welches eine Elektronendichte von über 1012e/cm3 und eine Ionenstromdichte größer als 100mA/cm2 aufweist.
The ion current density is 10 to 1 A/cm.
Die Ionenstromdichte beträgt 10 bis 1 A/cm².
As a reason for this a geometric spread of the ion trajectories inside of the trench and a thereby caused divergence of the ion current density can be identified.
Als Ursache für dieses Verhalten kann die Auffächerung der Ionentrajektorien im Grabeninneren und die dadurch verursachte Divergenz des Ionenstroms identifiziert werden.
The focussing effects due to the field at the convexe corners and the geometric spread of the ion trajectories inside of the trench give reason to a strong inhomogenity of the ion current density on the target surface.
Die fokussierende Wirkung der Kantenfelder und die Auffächerung der Ionentrajektorien in den Gräben verursachen starke Inhomogenitäten in der Stromdichteverteilung. Der lokale Aufschlagwinkel der Ionen auf dem Target zeigt sich ebenfalls sehr inhomogen verteilt.
When an optional cable between the monitor and the power supply is connected, the ion current density reading can be taken from the display of the power supply.
Wird ein optionales Verbindungskabel angeschlossen, kann die Anzeige auch am Display der Stromversorgung erfolgen.
Synoniemen voor ion current density in het Engels
Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
Suggesties
Resultaten: 14. Exact: 14. Verstreken tijd: 46 ms.
