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ion current density
Vertaling van "ion current density" in Duits
Ionenstromdichte
In this case, the ion current density can be freely set independently of the ion energy.
Die Ionenstromdichte ist dabei unabhängig von der Ionenenergie frei einstellbar.
Treatment process according to one of the preceding claims, characterized in that the ion current density of the ion beam is of the order of a milliampere per cm 2.
Behandlungsverfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Ionenstromdichte des Ionenstrahlenbündels etwa ein Milliampere pro cm 2 beträgt.
Method in accordance with claim 1, characterised in that the substrate is first bombarded during arc discharge vaporization with ions and the energy and ion current density are chosen for this such that the substrate surface is cleaned and partially removed by ion etching.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat während der Bogenentladungsverdampfung mit Ionen beschossen und dabei die Energie und Ionenstromdichte derart gewählt werden, daß die Substratoberfläche durch Ionenätzung gereinigt und teilweise abgetragen wird.
The method according to Claim 15, characterised in that the plasma sources are operated such that an average ion current density of at least 20 mA/cm 2 can be extracted on the substrate.
Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Plasmaquellen so betrieben werden, dass sich am Substrat eine durchschnittliche Ionenstromdichte von mindestens 20 mA/cm 2 extrahieren lässt.
Device according to one of claims 1 to 6, characterised in that the ion current density on specimen (4) is not greater than 100 mA/cm 2, preferably not greater than 30 mA/cm 2.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6 dadurch gekennzeichnet, dass die Ionenstromdichte an der Probe (4) nicht grösser als 100 mA/cm 2 ist, vorzugsweise nicht grösser als 30 mA/cm 2.
In this way, a plasma is produced with an electron density greater than 1012e/cm3 and ion current density greater than 100mA/cm2.
Auf diesem Wege wird ein Plasma produziert, welches eine Elektronendichte von über 1012e/cm3 und eine Ionenstromdichte größer als 100mA/cm2 aufweist.
The ion current density is 10 to 1 A/cm.
Die Ionenstromdichte beträgt 10 bis 1 A/cm².
As a reason for this a geometric spread of the ion trajectories inside of the trench and a thereby caused divergence of the ion current density can be identified.
Als Ursache für dieses Verhalten kann die Auffächerung der Ionentrajektorien im Grabeninneren und die dadurch verursachte Divergenz des Ionenstroms identifiziert werden.
When an optional cable between the monitor and the power supply is connected, the ion current density reading can be taken from the display of the power supply.
Wird ein optionales Verbindungskabel angeschlossen, kann die Anzeige auch am Display der Stromversorgung erfolgen.
The ion current density reading can be taken fom the monitor itsself in units of uA/cm² or mA/cm², an additional bar graph is existing.
Die Anzeige erfolgt am Gerät selber in Einheiten von uA/cm² oder mA/cm², eine zusätzliche Balkenanzeige ist vorhanden.
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Synoniemen voor ion current density in het Engels
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