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Lichtabschirmungsmuster
lichtabschirmende Struktur
The reticle as claimed in Claim 1, characterised in that each of said transparent pattern and said light shielding pattern is polygonal.
Retikel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sowohl das durchsichtige Muster als auch das Lichtabschirmungsmuster vieleckig ist.
A process according to claim 7, wherein said photomask has a light shielding pattern and a light absorbing member provided corresponding to said light shielding pattern.
Verfahren gemäß Anspruch 7, wobei die Fotomaske ein Lichtabschirmungsmuster und ein Licht absorbierendes Element besitzt, das entsprechend den Lichtabschirmungsmuster bereitgestellt wird.
The amplifying solid-state imaging device as claimed in claim 15, wherein a ground terminal of the inverting amplifier is a light shielding pattern (27) comprised of a conductive material and common to all pixels.
Der verstärkende Festkörperbildsensor nach Anspruch 15, wobei ein Erdungsanschluss des invertierenden Verstärkers ein dünnes Abschirmungsmuster (27) ist, das ein leitendes Material umfasst und für alle Pixel gemeinsam ist.
A method according to any one of the preceding claims, characterised in that one or more of said deposited thin film layers is patterned using radiation which is directed onto the light shielding pattern from more than one direction.
Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine oder mehrere Dünnfilmschichten unter Anwendung einer aus mehr als einer Richtung auf die lichtabschirmende Struktur gerichteten Strahlung strukturiert werden.
A method according to any one of Claims 8 to 11, characterised in that following the photolithographic patterning of the deposited thin film layers, the light shielding pattern is removed from the opposing surface of the substrate.
Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die lichtabschirmende Struktur im Anschluß an die photolithographische Strukturierung der aufgetragenen Dünnfilmschichten von der gegenüberliegenden Oberfläche des Substrats entfernt wird.
A method according to Claim 8, characterised in that the light shielding pattern comprises a thin film pattern formed on the opposing surface of the substrate.
Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die lichtabschirmende Struktur eine, auf der gegenüberliegenden Oberfläche des Substrats ausgebildete Dünnfilmstruktur aufweist.
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Synoniemen voor light shielding pattern in het Engels