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Massenhalterungsanordnungen
An accelerometer according to claim 17, wherein the sensing fingers are electrically decoupled from the mass support structures.
Beschleunigungsmessgerät nach Anspruch 17, bei welchem die Abtastfinger elektrisch von den Massenhalterungsanordnungen entkoppelt sind.
An accelerometer according to claim 17, wherein the mass support structures are affixed to the substrate using a single anchor (128,710).
Beschleunigungsmessgerät nach Anspruch 17, bei welchem die Massenhalterungsanordnungen an dem Substrat unter Verwendung eines einzigen Ankers (128,710) befestigt sind.
A method according to claim 9, wherein affixing the mass support structures to the substrate comprises: affixing the mass support structures to the substrate using a single anchor (128,710).
Verfahren nach Anspruch 9, bei welchem die Befestigung der Massenhalterungsanordnungen an dem Substrat umfasst: Befestigen der Massenhalterungsanordnungen an dem Substrat unter Verwendung eines einzigen Ankers (128,710).
An accelerometer according to claim 17, wherein the mass support structures (104,106, 108,110) support the mass within the mass' inner periphery toward the mass' outer periphery.
Beschleunigungsmessgerät nach Anspruch 17, bei welchem die Massenhalterungsanordnungen (104,106, 108,110) die Masse innerhalb des inneren Umfangs der Masse zum äußeren Umfang der Masse haltern.
An accelerometer according to claim 1, wherein the mass support structures are affixed to the substrate using multiple anchors (1128, 1130, 1132, 1134) positioned substantially symmetrical about the mass' center of mass.
Beschleunigungsmessgerät nach Anspruch 1, bei welchem die Massenhalterungsanordnungen an dem Substrat unter Verwendung mehrerer Anker (1128, 1130, 1132, 1134) befestigt sind, die im Wesentlichen symmetrisch zum Schwerpunkt der Masse angeordnet sind.
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Synoniemen voor mass support structures in het Engels