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method for forming a pattern
Vertaling van "method for forming a pattern" in Duits
Verfahren zur Herstellung eines Musters
VERFAHREN ZUR BILDUNG EINES MUSTERS
A radiation-sensitive material and a method for forming a pattern therewith
Ein strahlungsempfindliches Material und Verfahren zur Herstellung von einem Muster damit
Photoresist film and method for forming a pattern thereof
Fotoresistschicht und Verfahren zur Erzeugung eines Musters in dieser Schicht
A method for forming a pattern according to claim 13, wherein developing the resist on the substrate is effected by a developer which is mixed liquid of an organic alkaline aqueous solution and isopropyl alcohol.
Verfahren zur Bildung eines Musters nach Anspruch 13, bei welchem das Entwickeln des Resists auf dem Substrat mit einem Entwickler bewirkt wird, der eine gemischte Flüssigkeit aus einer organischen alkalischen wässerigen Lösung und Isopropylalkohol ist.
Method for manufacturing a master of an optical information recording medium, method for forming a pattern, a mater, a stamper, an optical information recording medium and a resist
Verfahren zur Herstellung einer Masterplatte für ein optisches Aufzeichnungsmedium, Verfahren zur Herstellung eines Musters, einer Mutterplatte, einer Matrize, eines optischen Aufzeichnungsmediums und eines Resists
The method for forming a pattern according to claim 9, characterised in that developing is carried out by using an alkali solution which is a mixture of an aqueous solution of an organic alkali compound and isopropyl alcohol.
Verfahren zur Ausbildung eines Musters nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Entwickeln unter Verwendung einer Alkalilösung ausgeführt wird, welche ein Gemisch einer wäßrigen Lösung und einer organischen Alkaliverbindung und Isopropylalkohol ist.
A method for forming a pattern according to claim 1, wherein said first photoresist layer (21) comprises an organic compound which can be silylated.
Verfahren zum Ausbilden eines Musters gemäß Anspruch 1, worin die erste Photoresistschicht (21) eine organische Verbindung umfaßt bzw. enthält, welche silyliert werden kann.
A method for forming a pattern according to claim 2, wherein said first photoresist layer (21) comprises any one selected from chemical amplification resist system, novolac based resist and polyvinylphenol based resist.
Verfahren zum Ausbilden eines Musters gemäß Anspruch 2, worin die erste Photoresistschicht (21) irgendeine umfaßt, die ausgewählt ist aus einem chemischen Verstärkungsresistsystem, auf Novolak basierendem Resist und auf Polyvinylphenol basierendem Resist.
A method for forming a pattern according to claim 1, wherein said silylation step is performed by using as a silylating agent any one selected from tetra-methyl disilazane; hexamethyl disilazane; aminomethyltrimethylsilane; dimethylsilyldimethylamine; and silane.
Verfahren zum Ausbilden eines Musters gemäß Anspruch 1, worin der Silylierungsschritt ausgeführt wird, indem als ein Silylierungsmittel irgendeines verwendet wird, das ausgewählt ist aus Tetramethyldisilazan; Hexamethyldisilazan; Aminomethyltrimethylsilan; Dimethysilyldimethylamin; und Silan.
The method for forming a pattern according to claim 9 or 10, characterised in that said radiation-sensitive material which contains said resin (IIA) is developed with an alkali solution and then crosslinked using a polymerisation initiator for crosslinking and then submitted to a dry etching.
Verfahren zur Ausbildung eines Musters nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß das strahlungsempfindliche Material, welches das Harz (IIA) enthält, entwickelt wird mit einer Alkalilösung und dann kreuzvernetzt wird unter Verwendung eines Polymerisationsstarters zum Kreuzvernetzen und dann einem Trockenätzen unterzogen wird.
Method for forming a pattern by silylation.
Verfahren zur Herstellung eines Musters durch Silylierung.
Method for forming a pattern having a fine gap.
Verfahren zum Herstellen von einem Muster mit feinen Zwischenräumen.
Method for forming a pattern on a synthetic wood board
Verfahren zur Herstellung eines Musters auf eine synthetische Holzplatte
Method for forming a pattern of an organic thin film of an organic electroluminescence display device
Verfahren zur Herstellung eines Musters einer organischen Dünnschicht für eine organische Elektrolumineszenzanzeigevorrichtung
Resultaten: 14. Exact: 14. Verstreken tijd: 146 ms.
