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method for producing microcomponents
Vertaling van "method for producing microcomponents" in Duits
Verfahren zur Herstellung von Mikrobauteilen
The invention relates to a lithographic method for producing microcomponents having a submillimeter structure, whereby the resist material can be dissolved in a simple manner.
Es wird ein lithographisches Verfahren zur Herstellung von Mikrobauteilen mit Bauteilstrukturen im Sub-Millimeterbereich beschrieben, bei dem das Herauslösen des Resistmaterials auf einfache Weise möglich ist.
The invention also relates to a method for producing microcomponents with component structures of cross-linkable resist material and to a flat coil for micromotors with at least one coil layer with strip conductors in the sub-millimeter range.
Es wird auch ein Verfahren zur Herstellung von Mikrobauteilen mit Bauteilstrukturen aus vernetzbarem Resistmaterial sowie eine Flachspule für Mikromotoren mit mindestens einer Wicklungslage mit Leiterbahnen im sub-Millimeterbereich beschrieben.
The invention relates to a lithographic method for producing microcomponents with component structures in the sub-millimeter range. According to the inventive method, a structured adhesive layer is applied to a metal layer and then a photostructured epoxy resin layer is applied to said adhesive layer.
Es wird ein lithographisches Verfahren zur Herstellung von Mikrobauteilen mit Bauteilstrukturen im Sub-Millimeterbereich beschrieben, bei dem auf eine metallische Schicht eine strukturierbare Haftschicht und auf die Haftschicht eine Schicht aus photostrukturierbarem Epoxyharz aufgebracht wird.
LITHOGRAPHIC METHOD FOR PRODUCING MICROCOMPONENTS
LITHOGRAPHISCHES VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON MIKROBAUTEILEN
USE OF POLYIMIDE FOR ADHESIVE LAYERS, LITHOGRAPHIC METHOD FOR PRODUCING MICROCOMPONENTS AND METHOD FOR PRODUCING COMPOSITE MATERIAL
VERWENDUNG VON POLYIMID FÜR HAFTSCHICHTEN, LITHOGRAPHISCHES VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON MIKROBAUTEILEN SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON VERBUNDMATERIAL
The invention relates to method for producing microcomponents with flow channels in at least one plane, especially of chemical microreactors, heat exchangers, mixers and evaporators.
Das erfindungsgemässe Verfahren dient zum Herstellen von Mikrobauteilen mit Strömungskanälen in mindestens einer Ebene, insbesondere von chemischen Mikroreaktoren, Wärmeaustauschern, Mischern und Verdampfern.
The invention relates to a method for producing microcomponents with at least one individual layer, which has functional layers (3) on the walls of inner structures such as flow channels.
Nach dem Verfahren werden Mikrobauteile mit mindestens einer Einzellage hergestellt, die funktionale Schichten (3) auf den Wänden innerer Strukturen, beispielsweise von Strömungskanälen, aufweisen.
METHOD FOR PRODUCING MICROCOMPONENTS HAVING FLOW CHANNELS
VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON MIKROBAUTEILEN MIT STRÖMUNGSKANÄLEN
Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
Resultaten: 8. Exact: 8. Verstreken tijd: 39 ms.
