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Such advantages are measurements with evaluations according to current standards (e.g., DIN EN ISO 4287/88, DIN EN ISO 13565 and DIN EN ISO 25178), measurements on any roughness standard and micro-geometry measurements using the proven method of focus variation.
Solche Vorteile sind Messungen mit Auswertungen nach aktuellen Normen (z.B. DIN EN ISO 4287/88, DIN EN ISO 13565 und DIN EN ISO 25178), Messungen an beliebigen Raunormalen und Mikrogeometriemessungen mit dem bewährten Verfahren der Fokusvariation.
Method of focus monitoring in a microscope as claimed in claim 5 to 8, characterised in that prior to compensating the differences in illumination of the image contents an average column value is formed.
Verfahren zur Fokuskontrolle in einem Mikroskop nach Anspruch 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass vor dem Ausgleichen der Ausleuchtungsunterschiede von den Bildinhalten ein spaltenweiser Mittelwert gebildet wird.
Method of focus monitoring in a microscope as claimed in claim 5 to 10, characterised in that the location of the minimum is interpolated precisely to subpixels from the progression of the error sum which in proximity to the minimum corresponds in close approximation to a parabola.
Verfahren zur Fokuskontrolle in einem Mikroskop nach Anspruch 5 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Ort des Minimums aus dem Verlauf der Fehlersumme, die in Nähe des Minimums in sehr guter Näherung einer Parabel entspricht, auf Subpixel genau interpoliert wird.
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