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Verfahren zum Gettern
A method of gettering and for defect formation control during the fabrication of double-diffused integrated circuit cells and cell produced therewith.
Verfahren zum Gettern und zur Kontrolle der Ausbildung von Defekten während der Herstellung von doppelt-diffundierten integrierten Schaltkreiszellen und so hergestellte Zelle.
A method of gettering an incandescent lamp comprising the steps of providing a getter comprising a phosphorus source and silane in an unsealed lamp envelope, sealing the lamp envelope, and activating the phosphorus and silane contained in the sealed envelope.
Verfahren zum Gettern einer Glühlampe, welches die folgenden Schritte umfaßt: Vorsehen eines eine Phosphorquelle und Silan umfassenden Getters in einer noch nicht abgedichteten Lampenhülle, abdichtendes Versiegeln der Lampenhülle, und Aktivieren des in der abgedichteten Lampenhülle enthaltenen Phosphors und Silans.
Method of gettering according to claim 1, wherein an isolation oxidation film (36) is formed on the principal surface of the substrate prior to the oxidising step.
Verfahren zum Gettern nach Anspruch 1, bei dem eine Isolationsoxidationsschicht (36) auf der Hauptoberfläche des Substrats vor dem Oxidationsschritt gebildet wird.
Method of gettering according to claim 1 including a step of distorting the surface of the substrate opposite to the principal surface on which a circuit element is to be formed before carrying out the oxidising step.
Verfahren zum Gettern nach Anspruch 1, das einen Schritt aufweist, die Oberfläche des Substrats gegenüber der Hauptoberfläche, auf der ein Schaltungselement gebildet werden soll, zu verformen, bevor der Oxidationsschritt ausgeführt wird.
Method of gettering according to Claim 2 including the step of subjecting the oxidation film and polycrystalline film to a further heat treatment to precipitate oxygen atoms (41) within the substrate.
Verfahren zum Gettern nach Anspruch 2, das den Schritt einschließt, die Oxidationsschicht und die polykristalline Schicht einer weiteren Wärmebehandlung auszusetzen, um Sauerstoffatome (41) innerhalb des Substrats abzuscheiden.
Method of gettering according to Claim 1 further including the step of subjecting the oxidation film and polycrystalline film to heat treatment.
Verfahren zum Gettern nach Anspruch 1, das weiter den Schritt aufweist, die Oxidationsschicht und die polykristalline Schicht einer Wärmebehandlung auszusetzen.
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