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micro flow sensor
Vertaling van "micro flow sensor" in Duits
Mikrodurchflußsensor
Thermal micro flow sensor and production method thereof
Thermischer Mikrodurchflusssensor und sein Herstellungsverfahren
A thermal micro flow sensor according to Claim 1, wherein the material of said heating wire (4) is polysilicon and said heating wire (4) is formed on said semiconductor substrate (1) by means of semiconductor fabrication technology.
Thermischer Mikrodurchflußsensor nach Anspruch 1, bei dem das Material des Heizdrahtes (4) ein Polysilizium ist und der Heizdraht (4) auf dem Halbleiter-Substrat (1) mit Hilfe der Halbleiter-Herstellungstechnologie angebracht ist.
A thermal micro flow sensor according to Claim 3, wherein said heating wire (4) has a line width in the range from 7 µm to 10 µm and a thickness in the range from 0.5 µm to 2 µm.
Thermischer Mikrodurchflußsensor nach Anspruch 3, bei dem der Heizdraht (4) eine Leiterbreite im Bereich von 7 µm bis 10 µm und eine Dicke im Bereich von 0,5 µm bis 2 µm aufweist.
The invention is used as a micro flow sensor in gas analysis devices, in particular for suppressing or compensating interfering components.
Die Erfindung wird eingesetzt als Mikro-Strömungsfühler in Gasanalysegeräten, insbesondere zur Unterdrückung bzw. Kompensation von Störkomponenten.
A thermal micro flow sensor according to Claim 1, wherein said thermal isolation structure (7) includes a cantilever beam structure.
Thermischer Mikrodurchflußsensor nach Anspruch 1, bei dem die thermisch isolierende Struktur (7) eine Konsolenstruktur umfaßt.
Based on the leading CMOSens Technology, Sensirion produces small sized micro flow sensor elements on request.
Basierend auf der führenden CMOSens Technologie entwickelt und fertigt Sensirion nachfrageabhängig diese kleinen Mikro-Durchflusssensoren.
Synoniemen voor micro flow sensor in het Engels
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