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A method of producing microstructured devices by lithography making use of a projection exposure apparatus according to claim 25. A method according to claim 26, characterized in that use is made of step- and repeat, scanning or stitching exposure schemes.
Verfahren zum Herstellen mikrostrukturierter Bauelemente durch Lithographie unter Verwendung einer Projektionsbelichtungsvorrichtung nach Anspruch 25. Verfahren nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, daß Step-and-Repeat-, Scan- oder Stitching-Belichtungsverfahren verwendet werden.
In the nineties, development of microstructured devices for process engineering was furthered consistently and eventually resulted in the foundation of IMVT as an independent institute in 2001.
Die Entwicklung von Mikrostrukturapparaten für die Verfahrenstechnik wurde während der 90er Jahre konsequent weiter vorangetrieben und führte schließlich im Jahr 2001 zur Gründung des IMVT als eigenständiges Institut.
Development of microstructured devices at IMVT is based on the skills of producing nozzles of smallest deflection radii of up to 30 µm by machining with ground, shaped diamonds.
Historisch basiert die Entwicklung von mikrostrukturierten Apparaten am IMVT auf den Fertigkeiten zur Herstellung von Düsen mit kleinsten Umlenkradien bis zu 30 µm durch spanabhebende Bearbeitung mit geschliffenen Formdiamanten.
Microstructured devices made of plastics and their finishing are the basis of our developments.
An international team of 64 employees specialized in various disciplines focuses on the construction and fabrication of microstructured devices, on fundamental studies of transport processes and chemical reactions in microstructures, and on the use of prototypes in selected thermal and chemical processes.
Ein internationales Team von über 60 Mitarbeiterinnen und Mitarbeitern aus verschiedenen Fachrichtungen befasst sich mit der Konstruktion und Fertigung von Mikrostrukturapparaten, mit Grundlagenuntersuchungen zu Transportvorgängen und chemischen Reaktionen in Mikrostrukturen und mit dem Einsatz von Prototypen in ausgewählten thermischen und chemischen Prozessen.
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Synoniemen voor microstructured devices in het Engels