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Mikrostrukturen mit
Process for making microstructures having a high aspect ratio by erosion lithography.
Verfahren zur Herstellung von Mikrostrukturen mit hohem Aspektverhältnis durch Erosionslithographie.
Micromachining process for forming microstructures having arbitrarily sloped and/or profiled sidewalls or substructures
Mikromechanisches Verfahren zur Erzeugung von Mikrostrukturen mit willkürlich geneigten und/oder profilierten Seitenkanten oder Substrukturen
A process is to be specified by means of which microstructures having a triangular or trapezoidal cross section can be produced using the conventional masks with vertical walls.
Es soll ein Verfahren angegeben werden, mit dem Mikrostrukturen mit dreieckigem oder trapezförmigem Querschnitt unter Verwendung der üblichen Masken mit senkrechten Wänden hergestellt werden können.
Process for manufacturing mechanical, electromechanical and opto-electromechanical microstructures having suspended regions subject to mechanical stresses during assembly
Verfahren zur Herstellung mechanischer, elektromechanischer und opto-elektromechanischer Mikrostrukturen mit aufgehängten Regionen welche während des Zusammenbaus mechanischen Spannungen ausgesetzt sind
PROCESS FOR THE DEPOSITION OF MICROSTRUCTURES HAVING A GIVEN STRUCTURE USING LASER LIGHT
Verfahren zur vorgegeben strukturierten Abscheidung von Mikrostrukturen mit Laserlicht
METHOD FOR MANUFACTURING MICROSTRUCTURES HAVING MULTIPLE MICROELEMENTS WITH THROUGH-HOLES
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON MIKROSTRUKTUREN MIT MEHREREN MIKROELEMENTEN MIT DURCHGANGSLÖCHERN
PROCESS FOR THE LITHOGRAPHIC PRODUCTION OF GALVANICALLY SHAPED MICROSTRUCTURES HAVING A TRIANGULAR OR TRAPEZOIDAL CROSS-SECTION
Verfahren zur lithographischen Herstellung von galvanisch abformbaren Mikrostrukturen mit dreieckigem oder trapezförmigem Querschnitt
The process according to the invention is suitable, in particular, for making microstructures having structure depths of between 3 mu m and 2000 mu m and lateral dimensions of less than 10 mu m.
Das erfindungsgemäße Verfahren eignet sich insbesondere zur Herstellung von Mikrostrukturkörpern mit Strukturtiefen zwischen 3 µm und 2000 µm und lateralen Abmessungen von unter 10 µm.
SAFETY ELEMENT HAVING MICROSTRUCTURES HAVING DIFFRACTIVE STRUCTURES, AND A METHOD FOR MANUFACTURE AND VERIFICATION
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Synoniemen voor microstructures having in het Engels