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Mehrschicht-Testfeld
Es are known, for example, substantially square flakes, which are also referred to as slides, a multi-layer test pad is located in the center thereof.
Bekannt sind zB im Wesentlichen quadratische Blättchen, die auch als Slides bezeichnet werden, in deren Mitte sich ein mehrschichtiges Testfeld befindet.
The multi-layer test pad of claim 1 wherein said overlying matrix of interconnected second pads (402a-d) comprises aluminium.
Mehrschicht-Testfeld nach Anspruch 1, bei welchem die oberliegende Matrix von zwischenverbundenen zweiten Feldern (402a-d) Aluminium enthält.
The method of claim 9 further comprising four corner second pads disposed at four corners of said multi-layer test pad, each of said four corner second pads being larger than the center second pad.
Verfahren nach Anspruch 9, welches ferner vier Kanten zweite Felder enthält, welche an vier Kanten des Mehrschicht-Testfeldes angeordnet werden, wobei jedes der vier Kanten zweite Felder größer als das zentrierte zweite Feld ist.
The multi-layer test pad of claim 2 wherein each of said periphery second pads (402a, 402c, 402d) is larger in surface area than said center second pad (402b).
Mehrschicht-Testfeld nach Anspruch 2, bei welchem jedes der umgebenden zweiten Felder (402a, 402c, 402d) im Oberflächenbereich größer ist als das zentrierte zweite Feld (402b).
The multi-layer test pad of claim 1 further comprising an intermediate metallization layer (424), said intermediate metallization layer (424) being coupled to both said overlying matrix and said underlying matrix.
Mehrschicht-Testfeld nach Anspruch 1, welches ferner eine zwischengelegte Metallschicht (424) enthält, wobei die zwischengelegte Metallschicht (424) sowohl mit der oberliegenden Matrix als auch der unterliegenden Matrix gekoppelt ist.
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