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Nanostrukturierung
Micro- and nano-patterning for the fabrication of integrated devices, micro systems, sensors and actors
Mikro- und Nanostrukturierung für die Fertigung von integrierten Bauelementen, Mikrosystemen, Sensoren und Aktoren
For the electrical characterization of individual nanowires a process of micro- and nano-patterning, based on a combination of photo- and electron-beam lithography, was developed to realize individually designed, few nanometers wide and precisely positioned metal contacts.
Zur elektrischen Charakterisierung einzelner Nanodrähte wurde ein Prozess zur Mikro- und Nanostrukturierung, basierend auf einer Kombination aus Foto- und Elektronenstrahllithographie, entwickelt, um individuell gestaltete, wenige Nanometer breite und präzise platzierte metallische Kontakte zu realisieren.
The present invention relates generally to a method for the removal of bulges, which are produced during a nano-patterning.
Die vorliegende Erfindung betrifft im Allgemeinen ein Verfahren zum Entfernen von Ausbuchtungen, die während einer Nanomusterung erzeugt werden.
Leveraging EVG's proprietary SmartNIL technology, the automated UV nanoimprint lithography (UV-NIL) system enables cost-efficient nano-patterning in high-volume manufacturing (HVM) applications.
Durch die Verwendung der proprietären SmartNIL-Technologie von EVG, die sich bereits in der Großserienproduktion bewährt hat, ermöglicht das automatische UV Nanoimprint Lithographie (UV-NIL) System die kosteneffiziente Nano-Strukturierung in High-Volume-Anwendungen.
Nano-patterning Visualization Engine (NPVE), which is a complex of soft- and hardware that provides nanopatterning and imaging of the nanopatterns in a single process.
Nano-Patterning Visualization Engine (NPVE), ein Komplex aus Soft- und Hardware, der die Nanostrukturierung und Abbildung der Nanomuster in einem einzigen Prozess ermöglicht.
The nano-patterning is carried out at the research level using well-established techniques such as ion beam milling, which may be envisaged as sand-blasting on the atomic scale.
Das Nano - Kopieren wird auf dem Forschungsniveau unter Verwendung der gut eingerichteten Techniken wie mahlender Ionenträger durchgeführt, der möglicherweise als Strahlen auf der Atomschuppe beabsichtigt wird.
The device allows users to simultaneously modify and monitor samples, with the aim of speeding up sample preparation and delivering a high throughput, e.g. for cross-sectioning, preparing TEM lamellae or nano-patterning.
Das Gerät erlaubt es, Proben simultan zu modifizieren und zu beobachten, was in schneller Probenpräparation und hohem Durchsatz resultieren soll, zum Beispiel bei der Anfertigung von Querschnitten, TEM-Lamellen oder beim Nanopatterning.
Scientists are currently investigating new uses for Helium Ion microscopy in nano-patterning.
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