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of dry-etching
Vertaling van "of dry-etching" in Duits
des Trockenätzens
zum Trockenätzen
The method of Claim 2, wherein the etching step is a step of dry-etching with a mixed gas of chlorine and oxygen.
Verfahren nach Anspruch 2, wobei der Ätzschritt ein Schritt des Trockenätzens ist mit einem gemischten Gas aus Chlor und Sauerstoff.
A method of dry-etching as claimed in claim 1, wherein the solid surface to be etched is an oxide.
Ein wie in Anspruch 1 beanspruchtes Trockenätzverfahren, wobei die zu ätzende feste Oberfläche ein Oxid ist.
A method of dry-etching a solid surface, which comprises the step of etching a solid surface with a gaseous bismuth halide compound in an ultra high vacuum.
Ein Verfahren zum Trockenätzen einer festen Oberfläche, das den Schritt des Ätzens einer festen Oberfläche mit einer gasförmigen Bismuthalogenidverbindung in einem Ultrahochvakuum umfaßt.
A method of dry-etching a solid surface as claimed in claim 3, wherein a silicon surface with a specific plane orientation is selectively etched.
Ein wie in Anspruch 3 beanspruchtes Verfahren zum Trockenätzen einer festen Oberfläche, wobei eine Siliciumoberfläche mit einer spezifischen Flächenorientierung selektiv geätzt wird.
The method according to claim 5, further comprising the step of dry-etching a part of the n-type semiconductor layer at the same time of dry-etching the second layer.
Verfahren nach Anspruch 5, das ferner den Schritt des Trockenätzens eines Teils der n-Typ-Halbleiterschicht gleichzeitig mit dem Trockenätzen der zweiten Schicht umfasst.
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Synoniemen voor of dry-etching in het Engels
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