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over a semiconductor substrate
Vertaling van "over a semiconductor substrate" in Duits
über einem Halbleitersubstrat
auf einem Halbleitersubstrat
The microphone structure comprises a membrane structure (2) having at least one acoustically active membrane (11), which is formed in a membrane layer over a semiconductor substrate (1).
Die Mikrofon struktur umfasst eine Membranstruktur (2) mit mindestens einer akustisch aktiven Membran (11), die in einer Membranschicht über einem Halbleitersubstrat (1) ausgebildet ist.
A method as claimed in claim 2 or claim 3, wherein said silicon oxide layer and said FBPSG layer are deposited over a semiconductor substrate having transistors formed thereon.
Verfahren nach Anspruch 2 oder Anspruch 3, bei welchem die Siliziumoxidschicht und die Schicht aus FBPSG über einem Halbleitersubstrat abgelegt werden, auf dem Transistoren ausgebildet sind.
Manufacturing method according to anyone of the previous claims, characterized in that said first semiconductor layer (41) is epitaxially grown over a semiconductor substrate (40) of the first conductivity type.
Herstellungsverfahren nach einem der vorigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Halbleiterschicht (41) epitaktisch auf einem Halbleitersubstrat des ersten Leitungstyps aufgewachsen wird.
A method as claimed in claim 1, further comprising: depositing the ultra-thin resist (16) over a semiconductor substrate (12) before the step of irradiating the ultra-thin resist (16).
Verfahren nach Anspruch 1, das ferner umfasst: Abscheiden des sehr dünnen Lackes (16) auf einem Halbleitersubstrat (12) vor dem Bestrahlen des sehr dünnen Lackes (16).
A process for the production of a semiconductor device, which comprises applying a polysilphenylenesiloxane according to any of claims 1 to 3 or claim 7 in a pattern over a semiconductor substrate; and baking the resulting coating to form a polymeric layer.
Prozeß zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung, wonach ein Polysilphenylensiloxan gemäß irgendeinem der Ansprüche 1 bis 3 oder gemäß Anspruch 7 in einem Muster über einem Halbleitersubstrat aufgetragen wird; und die resultierende Beschichtung zur Herstellung einer Polymerschicht gebacken wird.
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