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pattern formation as set forth
Vertaling van "pattern formation as set forth" in Duits
Musterbildung nach
A method of production of a semiconductor device comprising the method of pattern formation as set forth in claims 1 to 14.
Verfahren zur Herstellung einer Halbleitereinrichtung, welches das Verfahren zur Musterbildung nach den Patentansprüchen 1 - 14 umfaßt.
The apparatus for pattern formation as set forth in claim 27 or 28, wherein the switching means has an optical shutter type optical material (100) whose transmittance of light changes according to the voltage applied.
Gerät zur Musterbildung nach Anspruch 27 oder 28, wobei die Umschalteinrichtung ein optische Blende aus einem optischen Material (100) besitzt, deren Lichtdurchlässigkeitsfaktor sich gemäß der angelegten Spannung ändert.
The apparatus for pattern formation as set forth in any of claims 15 to 24, wherein the diameters of the individual lens of the fly's-eye lens (37) are larger at the center portion as against the peripheral portions.
Gerät zur Musterbildung nach einem der Ansprüche 15 bis 24, wobei der Durchmesser der individuellen Linsen der Facettenlinse (37) am Mittelbereich verglichen mit den Umfangsbereichen größer sind.
The method of pattern formation as set forth in any of claims 1 to 3, wherein the amount of light emitted from a center portion of said fly's eye lens is lowered by using a beam splitter (35) and/or prism lens.
Verfahren zur Musterbildung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Lichtmenge, die von einem Mittelbereich der Facettenlinse emittiert wird, unter Verwendung eines Strahlenteilers (35) und/oder einer Prismenlinse abgesenkt wird.
The apparatus for pattern formation as set forth in claim 27 or 28, wherein the switching means has at slide mechanism (98) enabling at least the first filter (96a) to move slidably.
Gerät zur Musterbildung nach Anspruch 27 oder 28, wobei die Umschalteinrichtung einen Schlittenmechanismus (98) aufweist, der ermöglicht, daß zumindest das erste Filter (96a) sich verschiebbar bewegt.
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Afbeelding van de dag
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