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plasma etching process
Vertaling van "plasma etching process" in Duits
Plasmaätzverfahren
Plasmaätzprozess
Plasma-Ätzverfahren
A process according to claim 4 which is a parallel flat type plasma etching process.
Verfahren nach Anspruch 4, das ein Plasmaätzverfahren vom parallelen flachen Typ ist.
In the dry etching such as the RIE method and the plasma etching process, an etching direction can be determined by an orientation of an ion beam or plasma.
Bei dem Trockenätzverfahren, wie beispielsweise dem RIE-Verfahren und dem Plasmaätzverfahren, kann eine Ätzrichtung durch eine Ausrichtung eines Ionenstrahls oder Plasmas bestimmt werden.
In the plasma etching process (4) an etching gas (7) is used which contains a fluorine compound.
Bei dem Plasmaätzprozess (4) wird ein Ätzgas (7) verwendet, das eine Fluorverbindung enthält.
This thesis deals with the investigation of the formation of nanostructures on ethylene tetrafluoroethylene (ETFE) in a plasma etching process.
Die vorliegende Arbeit befasst sich mit der Untersuchung der Strukturbildung auf Ethylentetrafluorethylen-Folie (ETFE) in einem Plasmaätzprozess.
Process according to claim 13, in which the areas of the semi conducting layer not protected by the photosensitive resin are eliminated using a plasma etching process.
Verfahren nach Anspruch 13, wobei die Zonen der Halbleiterschicht, die nicht von dem lichtempfindlichen Harz geschützt sind, durch ein Plasma-Ätzverfahren eliminiert werden.
Process according to claim 13, in which the orifice in the chemically and thermally insulating layer, if any, in the semi conducting layer and in the dielectric insulating layer, is made using a chemical etching and/or plasma etching process, depending on the layer.
Verfahren nach Anspruch 13, wobei die Öffnung in der eventuellen chemisch und thermisch isolierenden Schicht, in der Halbleiterschicht und in der isolierenden dielektrischen Schicht durch ein chemisches und/oder Plasma-Ätzverfahren je nach der Schicht hergestellt wird.
A reflection-reducing nanostructure (3) is produced on the glass surface (2) by means of the mask-free plasma etching process (4).
Mittels des maskenlosen Plasmaätzprozesses (4) wird eine reflexionsmindernde Nanostruktur (3) an der Glasoberfläche (2) erzeugt.
Urban and Dr. Lärmer's development is a special plasma etching process for silicon.
Bei der Entwicklung von Urban und Dr. Lärmer handelt es sich um ein besonderes Plasmaätzverfahren für Silizium.
Dr. Lärmer is the co-inventor of the "Bosch Process," a plasma etching process for micromechanical components also known as DRIE (deep reactive ion etching), which has revolutionized microsystems technology.
Dr. Lärmer ist Miterfinder des so genannten "Bosch-Prozesses", einem Plasmaätzverfahren (DRIE - Deep Reactive Ion Etching) für mikromechanische Bauelemente, das die Mikrosystemtechnik revolutioniert hat.
Plasma etching process using a flurocarbon and silane
Plasma-Ätzverfahren unter Verwendung von einem Fluorkohlenwasserstoff und Silan
Plasma etching process according to Claim 5, characterized in that the plasma-chemical aftertreatment is carried out in an O 2 -, H 2 - or N 2 -containing plasma.
Plasmaätzverfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die plasmachemische Nachbehandlung in einem O 2 -, H 2 oder N 2 -hältigen Plasma durchgeführt wird.
METHOD FOR CARRYING OUT A PLASMA ETCHING PROCESS
VERFAHREN ZUR DURCHFÜHRUNG EINES PLASMAÄTZPROZESSES
Method according to Claim 4, in which an anisotropic plasma etching process is carried out in the first etching step and an isotropic plasma etching process or isotropic wet etching is carried out in the second etching step.
Verfahren nach Anspruch 4, bei dem im ersten Ätzschritt ein anisotropes Plasmaätzverfahren und im zweiten Ätzschritt ein isotropes Plasmaätzverfahren oder eine isotrope Naßätzung durchgeführt werden.
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Synoniemen voor plasma etching process in het Engels
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