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pressure sensor array
Vertaling van "pressure sensor array" in Duits
Drucksensoranordnung
The method according to any previous claim, further comprising the step of dividing the pressure sensors of the pressure sensor array into as many clusters as there are active pressure sensors.
Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, welches zusätzlich den Schritt aufweist: Aufteilen der Drucksensoren der Drucksensoranordnung in so viele Anhäufungen bzw. Cluster als aktive Drucksensoren vorhanden sind.
A pressure sensor array according to claim 12, characterized in that the thickness of the polycrystalline semiconductor film (4) of the reference element exceeds the thickness of the polycrystalline semiconductor film (4) of the capacitative pressure sensor.
Drucksensoranordnung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die polykristalline Halbleiterschicht (4) des Referenzelementes eine größere Dicke als diejenige der polykristallinen Halbleiterschicht (4) des kapazitiven Drucksensors aufweist.
A pressure sensor array according to claim 12 or 13, characterized in that the polycrystalline semiconductor film (4) of the reference element is reinforced by an additional film (10) so as to increase its flexural strength.
Drucksensoranordnung nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß die polykristalline Halbleiterschicht (4) des Referenzelementes mit einer weiteren Schicht (10) zur Erhöhung ihrer Biegesteifigkeit verstärkt ist.
A pressure sensor array according to one of the claims 12 to 15, characterized by a capacitance measuring circuit of the switched capacitor type (11, 13) comprising the pressure sensor and the reference element.
Drucksensoranordnung nach einem der Ansprüche 12 bis 15, gekennzeichnet durch eine Schalter-Kondensator-Kapazitätsmeßschaltung (11, 13), die den Drucksensor und das Referenzelement umfaßt.
A pressure sensor array according to claim 12 or 13, characterized by a plurality of pressure sensor/reference element pairs arranged on a common semiconductor substrate (1) in a fieldlike array.
Drucksensoranordnung nach Anspruch 12 oder 13, gekennzeichnet durch eine Mehrzahl von feldartig auf einem gemeinsamen Halbleitersubstrat (1) angeordneten Drucksensor-Referenzelement-Paaren.
Method of making piezoelectric cantilever pressure sensor array
Verfahren zum Herstellen einer Matrix von piezoelektrischen Cantilever-drucksensoren
Based on these results, a prototype comprising a model based control system, a circumferential casing-mounted pressure sensor array in front of the rotor, a 1-d dynamic throttle for actuation and a digital signal processor for the control algorithms was developed.
Basierend auf diesen Ergebnissen wird ein modellbasiertes Regelkonzept, bestehend aus einer umfangsverteilten Drucksensorik vor dem Rotor, einer 1-d Lamellendrossel als Aktor und einem Digitalen Signalprozessor zur Verarbeitung der Regelalgorithmen erstellt und umgesetzt.
Device (1) according to Claim 1, characterized in that it comprises a pressure sensor array (11) with at least one line of the pressure sensor elements (111).
Vorrichtung (1) gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sie einen Drucksensor-Array (11) mit mindestens einer Zeile von den Drucksensorelementen (111) umfasst.
Measuring system for temporary and locally high-Measurement System by Printed Thin Pressure Sensor Array.
Messsystem für zeitlich und örtlich hochaufgelöste Druckmessung.
A method and apparatus for determining a flexural property of a load applied to a discretely sampled pressure sensor array
Verfahren und Gerät zur Bestimmung der Biegungseigenschaft einer Last ausgeübt auf einer Drucksensoranordnung
Synoniemen voor pressure sensor array in het Engels
Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
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