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Schutzschichtsystem
Production method according to one of claims 2 to 4, characterized in that the protective layer system comprises at least one carbon layer deposited with ion beam support.
Herstellungsverfahren nach einem Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Schutzschichtsystem mindestens eine Kohlenstoffschicht umfasst, die mit Ionenstrahlunterstützung abgeschieden wird.
The invention relates to a protective layer system for a non-oxidic ceramic containing Si, said system comprising a first protective layer provided with an oxide containing Si, and a covering layer arranged on the protective layer.
Die Erfindung betrifft ein Schutzschichtsystem für eine Si-haltige, nichtoxidische Keramik mit einer ersten Schutzschicht umfassend ein Si-haltiges Oxid sowie einer auf der Schutzschicht angeordneten Deckschicht wobei die Deckschicht eine Sauerstoff undurchlässige Verbindung mit einem thermischen Ausdehnungskoeffizienten von weniger als 9,0*10-6/K aufweist.
PROTECTIVE LAYER SYSTEM FOR NON-OXIDIC SUBSTRATES CONTAINING SI
According to the invention, the reflective optical element has a protective layer system consisting of at least one layer.
Erfindungsgemäss weist das reflektive optische Element ein Deckschichtsystem aus einer oder mehreren Schichten auf.
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Synoniemen voor protective layer system in het Engels