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The invention relates to a highly reflective layer system for coating substrates with reflection-enhancing layers, to a method for producing the layer system and to a device for carrying out the method.
Die Erfindung betrifft ein hochreflektierendes Schichtsystem zur Beschichtung von Substraten mit reflexionserhöhenden Schichten, ein Verfahren zur Herstellung des Schichtsystems sowie eine Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens.
The invention relates to an optoelectronic assembly (100,200, 300,400), which has a planar optical waveguide (102), a lateral optical waveguide (104), and a partially reflective layer system (106,106a, 106b, 106c, 106d).
Eine optoelektronische Anordnung (100,200, 300,400) weist einen flächigen Lichtleiter (102), einen seitlichen Lichtleiter(104) und ein teilreflektierendes Schichtsystem (106,106a, 106b, 106c, 106d) auf.
The partially reflective layer system (106,106a, 106b, 106c, 106d) is arranged between the lateral surfaces of the planar optical waveguide (102) and the lateral optical waveguide (104).
Das teilreflektierende Schichtsystem (106, 06a, 106b, 106c, 106d) ist zwischen den Seitenflächen des flächigen Lichtleiters (102) und dem seitlichen Lichtleiter (104) angeordnet.
The invention relates to an optoelectronic semiconductor body (1) having an active semiconductor layer sequence (10) and a reflective layer system (20).
Es wird ein optoelektronischer Halbleiterkörper (1) mit einer aktiven Halbleiterschichtenfolge (10) und einem reflektierenden Schichtsystem (20) angegeben.
OPTOELECTRONIC SEMICONDUCTOR BODIES HAVING A REFLECTIVE LAYER SYSTEM
The invention relates to a method for producing a reflective layer system and to a reflective layer system that is to be applied to a III-V compound semiconductor material (4).
Die Erfindung beschreibt ein Verfahren zur Herstellung eines reflektierenden Schichtsystems und ein reflektierendes Schichtsystem zur Aufbringung auf ein III/V-Verbindungshalbleitermaterial (4), wobei eine erste Schicht (1), die Phosphosilikatglas enthält, direkt auf das Halbleitersubstrat (4) aufgebracht ist.
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Synoniemen voor reflective layer system in het Engels