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resist composition
Vertaling van "resist composition" in Duits
Resistzusammensetzung
Resist-Zusammensetzung
Photolackzusammensetzung
Resistmasse
Resistzubereitung
Lackzusammensetzung
Schwarzfotolackzusammensetzung
Silsesquioxane compound mixture, method of making, resist composition, and patterning process
Silsesquioxan Mischung, Methode zu deren Herstellung, Resistzusammensetzung und Strukturierungsprozess
Positive chemically amplified resist composition and method for producing compounds used therein
Positiv arbeitende, chemisch verstärkte Resistzusammensetzung und Verfahren zur Herstellung von darin verwendeten Verbindungen
The chemical-sensitization resist composition as claimed in claim 4 in which the film-forming resinous ingredient as the component (A) is a combination of an alkali-soluble resin and an acid-crosslinkable compound.
Chemisch sensibilisierte Resist-Zusammensetzung nach Anspruch 4, wobei der filmbildende Harz-Bestandteil als Komponente (A) eine Kombination eines Alkali-löslichen Harzes und einer mit Säure vernetzbaren Verbindung ist.
Positive resist composition for immersion exposure and pattern-forming method using the same
Positive Resist-Zusammensetzung für Immersion Lithographie und Strukturierungsmethode mit Benutzung derselbigen
Process for preparing positive resist composition.
Verfahren zur Herstellung einer positiven Photolackzusammensetzung.
A resist composition as claimed in claim 5 wherein the sensitizer is a dye, a polycyclic aromatic compound, pyrene or perylene.
Eine Photolackzusammensetzung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensibilisierungssubstanz ein Farbstoff, eine polycyclische aromatische Verbindung, Pyren oder Perylen ist.
Fluoroalcohol preparation method, fluorinated monomer, polymer, resist composition and patterning process
Verfahren zur Herstellung von Fluoralkohol, fluoriertes Monomer, Polymer, Resistzusammensetzung und Strukturierungsverfahren
A salt suitable for an acid generator and a chemically amplified resist composition containing the same
Salz geeignet für Sauergenerator sowie Chemisch verstärkte Resistzusammensetzung die dieses enthaltet
The chemical amplified resist composition containing norbornane type low molecular additive
Chemisch verstärkte Resistzusammensetzung, die ein Norbornan-Additiv mit einem niedrigen Molekulargewicht enthält
Positive resist composition for immersion exposure and pattern-forming method using the same
Positive Resistzusammensetzung für Immersionsbelichtung und Strukturbildungsverfahren damit
Lithographic resist composition for use in a method of forming a film on a substrate.
Lithographische Resistzusammensetzung zur Verwendung bei einem Verfahren zur Herstellung eines Filmes auf einem Substrat.
Silicon-containing polymer, resist composition and patterning process
Silikon enthaltendes Polymer, Resistzusammensetzung und Strukturierungsverfahren
A chemically amplified resist composition as claimed in claim 1 wherein R 2 is hydrogen.
Chemisch verstärkte Resistzusammensetzung gemäß Anspruch 1, worin R 2 Wasserstoff ist.
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Synoniemen voor resist composition in het Engels
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