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Roboterausrichtsystem
The robot alignment system according, to claim 1, further including a plurality of light emitters and a plurality of optical sensors.
Roboterausrichtsystem nach Anspruch 1, weiterhin enthaltend mehrere Lichtemitter und mehrere optische Sensoren.
The robot alignment system according to claim 2, further including three proximity sensors arranged in a triangular configuration on the planarity teaching station.
Roboterausrichtsystem nach Anspruch 2, weiterhin enthaltend drei Annäherungssensoren, die in einem Dreieck auf der Ebenheits-Ausbildungsstation angeordnet sind.
The robot alignment system according to claim 1, wherein the planarity teaching station is a part of a prealigner device (16) for aligning the substrate on said end effector.
Roboterausrichtsystem nach Anspruch 1, bei dem die Ebenheits-Ausbildungsstation ein Teil einer Vorausrichtervorrichtung (16) zum Ausrichten des Substrats an dem Endeffektor ist.
The robot alignment system according to claim 1, comprising an alignment station for prealigning of the substrate by adjusting a position of the substrate on said end effector.
Roboterausrichtsystem nach Anspruch 1, enthaltend eine Ausrichtstation zum Vorausrichten des Substrats durch Einstellen einer Position des Substrats an dem Endeffektor.
The robot alignment system according to claim 3, wherein the proximity sensors are arranged in a plane positioned beneath the plane in which the substrate is held by said end effector.
Roboterausrichtsystem nach Anspruch 3, bei dem die Annäherungssensoren in einer Ebene angeordnet sind, die unterhalb der Ebene liegt, in der das Substrat von dem Endeffektor gehalten wird.
The robot alignment system according to claim 1, wherein the means for determining planarity information are adapted to move the substrate toward the proximity sensor(s).
Roboterausrichtsystem nach Anspruch 1, bei dem die Einrichtungen zum Ermitteln der Ebenheitsinformation dazu eingerichtet sind, das Substrat in Richtung auf den/die Annäherungssensor(en) zu bewegen.
The robot alignment system according to claim 6, wherein the prealigner includes a substrate edge detection system (54,56,58) and a rotatable chuck (52).
Roboterausrichtsystem nach Anspruch 6, bei dem der Vorausrichter ein Substratrand-Erfassungssystem (54,56,58) und ein drehbares Spannfutter (52) enthält.
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Synoniemen voor robot alignment system in het Engels