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der Diffusionsschritt
dem Diffusionsschritt
A process according to one of claims 10 to 16, wherein heating in said diffusion step is carried out simultaneously during heating for soldering for the contact.
Prozeß nach einem der Ansprüche 10 bis 16, bei dem das Heizen in dem Diffusionsschritt gleichzeitig mit dem Heizen zum Verlöten des Kontakts ausgeführt wird.
A method according to claim 13, wherein said immersing step is performed after said zinc layer applying step and before said diffusion step.
Verfahren nach Anspruch 13, bei dem der Schritt des Eintauchens nach dem Schritt des Aufbringens der Zinkschicht und vor dem Diffusionsschritt durchgeführt wird.
A process according to claim 10 or 11, wherein said diffusion step is carried out so that the thickness of the metal coated layer at the undiffused portion existing on the surface of said contact substrate may be within the range of from 0 to 5 µm.
Prozeß nach Anspruch 10 oder 11, bei dem der Diffusionsschritt so ausgeführt wird, daß die Dicke der metallischen Beschichtungsschicht in dem nicht diffundierten Abschnitt, welcher an der Oberfläche des Kontaktsubstrats vorhanden ist, in dem Bereich von 0µm bis 5µm liegen kann.
The method of claim 1 comprising the further steps of: measuring the breakdown voltage of the P-N junction after said diffusion step; and diffusing the impurities deeper into said mesa to achieve a lower breakdown voltage if the measured voltage is too high.
Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch folgende weitere Schritte: Messen der Durchschlagsspannung des PN-Überganges nach dem Diffundierungsschritt, und Diffundieren der Fremdatome in die Mesa-Anordnung, um eine niedrigere Durchschlagsspannung zu erzielen, falls die gemessene Spannung zu hoch ist.
A method as claimed in Claim 1, characterized in that the semiconductor body (1) is subjected to an oxidation step during said diffusion step for promoting the diffusion of boron atoms of the back-gate region (16).
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , dass der Halbleiterkörper (1) während des genannten Diffusionsschrittes einem Oxidationsschritt unterworfen wird, um die Diffusion von Boratomen des Backgategebietes (16) zu begünstigen.
A method as recited in claim 1, wherein said diffusion step further includes the step of terminating said diffusion step to maintain an isolation region within said epitaxial layer.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei der Diffusionsschritt weiterhin den folgenden Schritt beinhaltet: Beenden des Diffusionsschritts, um ein Isolationsgebiet innerhalb der Epitaxieschicht aufrechtzuerhalten.
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