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said object table
Vertaling van "said object table" in Duits
den Objekttisch
dem Objekttisch
Apparatus according to claim 5 further comprising second driving means for acting between said frame and said one balance mass to drive said object table in said second direction.
Vorrichtung nach Anspruch 5, ferner mit zweiten Antriebseinrichtungen zum Wirken zwischen dem Rahmen und der einen Ausgleichsmasse, um den Objekttisch in die zweite Richtung zu bewegen.
Apparatus according to any one of the preceding claims wherein said driving means (17, 18) are adapted to translate said object table (MT) in said first direction by exerting like-directed forces between said object table and said first and second balance masses.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Antriebseinrichtungen (17, 18) so angepasst sind, dass sie den Objekttisch (MT) in die erste Richtung verschieben, indem gleichgerichtete Kräfte zwischen den Objekttisch und die erste und zweite Ausgleichsmasse angelegt werden.
Apparatus according to any one of the preceding claims wherein said first direction is substantially parallel to the surface of a mask or substrate held on said object table.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die erste Richtung im wesentlichen parallel zur Oberfläche einer Maske oder eines Substrats verläuft, die auf dem Objekttisch gehalten sind.
A lithographic projection apparatus according to any of the preceding claims, wherein said component is an object table (W2T, W3T) and said utilities providing means (24) are constructed and arranged to provide utilities to said object table (W2T, W3T).
Lithografische Projektionsvorrichtung gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Komponente ein Objekttisch (W2T, W3T) ist und die Betriebsmittelbereitstellungseinrichtung (24) aufgebaut und angeordnet sind, um dem Objekttisch (W2T, W3T) Betriebsmittel bereitzustellen.
Apparatus according to claim 3 wherein said balance mass has a further guide surface substantially parallel to said guide surface and said object table is provided with a substantially frictionless bearing on said further guide surface.
Vorrichtung nach Anspruch 3, wobei die Ausgleichsmasse eine weitere Führungsfläche aufweist, die im wesentlichen parallel zu der Führungsfläche ist und der Objekttisch mit einem im wesentlichen reibungsfreie Lager auf der weiteren Führungsfläche versehen ist.
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Synoniemen voor said object table in het Engels
Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
Resultaten: 5. Exact: 5. Verstreken tijd: 43 ms.
