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said process parameter
Vertaling van "said process parameter" in Duits
der Prozessparameter
A method of forming a resist pattern according to claim 1, wherein said process parameter is a develop time parameter.
Ein Verfahren zur Bildung eines Fotolackmusters gemäß Anspruch 1, wobei der Prozessparameter ein Entwicklungszeitparameter ist.
A process as defined in claim 7 comprising computing (100) said process parameter values in an algorithm to adjust said process parameters.
Verfahren nach Anspruch 7, umfassend das Berechnen (100) der genannten Prozessparameterwerte in einem Algorithmus zum Einstellen der genannten Prozessparameter.
A method of forming a resist pattern according to claim 4, wherein said process parameter is a thermal annealing process time parameter or a thermal annealing process temperature parameter.
Ein Verfahren zur Bildung eines Fotolackmusters gemäß Anspruch 4, wobei der Prozessparameter ein Zeitparameter für einen Wärmebehandlungsprozess oder ein Temperaturparameter für einen Wärmebehandlungsprozess ist.
The method of claim 1 wherein said step (1030) of estimating said process parameter comprises the step of: estimating (1140) a process parameter (625) from the force filtered motion signal value.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei der Schritt (1030) des Schätzens des Prozessparameters den folgenden Schritt umfasst: Schätzen (1140) eines Prozessparameters (625) anhand des Wertes des kraftgefilterten Bewegungssignals.
Electronics according to Claim 11 wherein: said process parameter estimator (620) comprises means (1140) for estimating a process parameter from the force filtered motion signal value.
Elektronik nach Anspruch 11, wobei: die Prozessparameter-Schätzeinrichtung (620) eine Einrichtung (1140) zum Schätzen eines Prozessparameters anhand des kraftgefilterten Bewegungssignalwertes umfasst.
An apparatus (5) according to Claim 16, wherein said process parameter estimator (40) comprises means for estimating mass flow.
Vorrichtung (5) nach Anspruch 16, wobei der Prozessparameter-Beobachter (40) Mittel zur Schätzung eines Massenstroms umfasst.
An image forming apparatus according to claim 1 further comprising means for activating said process parameter controlling means after said toner density correction cancelling means has cancelled the correction set up by said toner density correcting means.
Bilderzeugungsvorrichtung nach Anspruch 1, ferner mit einer Einrichtung zum Aktivieren der Prozessparameter-Steuerungseinrichtung nachdem die Tonerdichtekorrektur-Aufhebeeinrichtung die von der Tonerdichte-Korrektureinrichtung eingestellte Korrektur aufgehoben hat.
Electronics according to Claim 11, wherein said force filter (610) represents a function of frequency evaluated at a frequency of interest, and wherein said process parameter estimator is operative to estimate a process parameter from the force filtered motion signal at the frequency of interest.
Elektronik nach Anspruch 11, wobei das Kraftfilter (610) eine Funktion einer Frequenz darstellt, die bei einer Frequenz von Interesse bewertet wird, und wobei die Prozessparameter-Schätzeinrichtung in Funktion einen Prozessparameter anhand des kraftgefilterten Bewegungssignals bei der Frequenz von Interesse schätzt.
Synoniemen voor said process parameter in het Engels
Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
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