Gesproken tekst vertalen, offlinefuncties, synoniemen, vervoegingen, educatieve spelletjes
Publiciteit
Registreer gratis: toegang tot meer resultaten en functies
said processing gas
Vertaling van "said processing gas" in Duits
des Prozeßgases
A method as claimed in any of the preceding claims, wherein said processing gas is a drying gas, characterized in that said jet is preheated to a temperature well below that of said drying gas.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wonach das bearbeitende Gas ein Trockengas ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Strahl auf eine Temperatur ziemlich unter jener des Trockengases vorgewärmt wird.
A chamber as claimed in any of claims 7 to 10, wherein said processing gas is a heated drying gas, characterized in that heating means is provided for preheating said jet to a temperature well below that of said processing gas.
A method according to claim 1 wherein the step of maintaining said processing gas at a pressure comprises maintaining said gas at a pressure in the range of 1 millitorr to 1 torr.
Verfahren gemäß Anspruch 1, wobei der Schritt des Haltens des Prozeßgases auf einem Druck das Halten des Gases auf einem Druck in dem Bereich von 1 Millitorr bis 1 Torr umfasst.
The method according to claim 12, characterized in that the ratio of the flow rate of said gas containing oxygen or nitrogen to that of said processing gas is 1 to 4.5%.
Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet , daß das Verhältnis der Strömungsgeschwindigkeit des Gases, das Sauerstoff oder Stickstoff enthält, zu der des Bearbeitungsgases 1 bis 4,5 % ist.
The substrate processing method according to claim 21 or 22, wherein said processing gas includes said hydrogen gas at a concentration of not more than 1 %.
Substratbearbeitungsverfahren nach Anspruch 21 oder 22, wobei das Bearbeitungsgas das Wasserstoffgas in einer Konzentration von nicht über 1 % enthält.
A plasma processing apparatus according to claim 5, characterized in that said processing gas supplying means (16, 17, 18) supplies a gas for etching said work (S1).
Eine Plasma-Bearbeitungsvorrichtung (B), nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung zur Zuführung von Prozeßgas (16 - 18) ein Gas zum Ätzen dieses Substrats (S1) liefert.
A reaction apparatus according to any preceding claim, wherein said substrate holder (12) is provided on an electrode (15) for applying an A.C. electric signal for activating said processing gas or biasing said held substrate (20).
Reaktionsapparat nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei der Substrathalter (12) auf einer Elektrode (15) angebracht ist, um ein elektrisches Wechselstromsignal zum Aktivieren des Prozeßgases oder zum Vorspannen des aufgenommenen Substrats (20) anzulegen.
A plasma reactor as claimed in Claim 13, characterised in that said passageway presents a choke point for said processing gas flowing from said main processing chamber into said pumping channel.
Plasmareaktor nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Kanal eine Drosselstelle für das Behandlungsgas bildet, das aus der Hauptbehandlungskammer in den Pumpkanal strömt.
A method according to Claim 1 or Claim 2, wherein said processing gas for tungsten silicide film formation includes PH 3 gas, SiH 2 Cl 2 gas and WF 6 gas.
Verfahren gemäss Anspruch 1 oder 2, worin das Prozessgas für die Wolframsilicidschichtbildung PH 3 -Gas, SiH 2 Cl 2 -Gas und WF 6 -Gas einschliesst.
A semiconductor fabrication equipment according to claim 1, further comprising second flow rate control means (26) respectively provided on said exhaust pipings (21) for controlling the flow rates of said processing gas.
Vorrichtung zum Herstellen von Halbleitern nach Anspruch 1, die ferner aufweist: zweite Strömungsraten-Regelungs- bzw. Steuereinrichtungen (26), die jeweils an den Ablassleitungen (21) vorgesehen sind, um die Strömungsraten des Verarbeitungsgases zu regeln.
Synoniemen voor said processing gas in het Engels
Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
Resultaten: 10. Exact: 10. Verstreken tijd: 55 ms.
