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second layer of insulating material
Vertaling van "second layer of insulating material" in Duits
zweite Schicht aus Isoliermaterial
The electromagnetic chip of any one of claims 22 to 25, wherein a second layer of insulating material is deposited on a top surface of the array.
Elektromagnetischer Chip nach einem der Ansprüche 22 bis 25, dadurch gekennzeichnet, dass eine zweite Schicht aus Isoliermaterial auf einer oberen Fläche der Anordnung aufgebracht ist.
An electronic device according to claim 16, wherein said second layer of insulating material substantially covers said second layer of metal (14).
Elektronisches Bauelement nach Anspruch 16, wobei die zweite Schicht aus Isoliermaterial die zweite Schicht aus Metall (14) im wesentlichen bedeckt.
An electronic device according to anyone of claims 15 to 17, wherein the fourth terminal is electrically connected to the second metal layer by an interconnect formed through said second layer of insulating material.
Elektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 15 bis 17, wobei der vierte Anschluß mit der zweiten Metallschicht durch eine Verbindung elektrisch verbunden ist, die durch die zweite Schicht aus Isoliermaterial gebildet ist.
The structure of claim 25 wherein said second layer of insulating material matches the chemical composition of the first layer.
Die Struktur nach Anspruch 25, bei der die zweite Schicht von Isolationsmaterial an die chemische Zusammensetzung der ersten Schicht angepaßt ist.
A method of manufacturing an electronic device according to claim 3. wherein said step of insulating the walls of the first aperture is performed at least in part by the step of applying the second layer of insulating material to the second metal layer (14).
Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauelements nach Anspruch 3, wobei der Schritt des Isolierens der Wände der ersten Öffnung mindestens teilweise durch den Schritt des Aufbringens der zweiten Schicht aus Isoliermaterial auf die zweite Metallschicht (14) durchgeführt wird.
The structure of claim 25 wherein said second layer of insulating material matches the etch rate of said first layer in any etchant which will etch both said first and second layers.
Die Struktur nach Anspruch 25, bei der die zweite Schicht von Isoliermaterial an die Ätzrate der ersten Schicht bezüglich jedes Ätzmittels angepaßt ist, das sowohl die erste als auch die zweite Schicht ätzt.
A method as claimed in Claim 1 or 2, characterized in that the top layer (11) is already provided on the second layer of insulating material (10) before etching of the window, and the window is etched also through the top layer.
Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet , dass die Deckschicht (11) bereits vor dem Ätzen des Fensters auf die zweite Schicht aus isolierendem Material (10) aufgebracht wird und das Fenster auch durch die Deckschicht hindurch geätzt wird.
A method as claimed in Claim 1 or 2, characterized in that said step of forming said spacers (33) comprises the steps of depositing and selectively etching a second layer of insulating material (32).
Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Ausbildens der Abstandsstücke (33) die Schritte des Abscheidens und selektiven Atzens einer zweiten Schicht aus isolierendem Material (32) umfaßt.
A method as claimed in Claim 5, characterized by the fact that said step of forming said spacers (33) comprises the steps of depositing and selectively etching a second layer of insulating material.
Verfahren nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch die Tatsache, dass der Schritt zum Bilden der Abstandhalter (33) die Schritte umfasst, eine zweite Schicht aus Isolationsmaterial abzuscheiden und selektiv zu ätzen.
A method as claimed in Claim 1, characterized in that said top layer provided on the second layer of insulating material (10) is of non-monocrystalline silicon.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , dass die genannte, auf der zweiten Schicht aus isolierendem Material (10) aufgebrachte Deckschicht aus nicht monokristallinem Silicium besteht.
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