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Festphasendiffusion
The ink jet recording head as claimed in claim 32 wherein the solid-phase diffusion is executed by heating in an insert gas or in vacuum.
Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach Anspruch 32, wobei die Festphasendiffusion durch Erhitzen in einem inerten Gas oder im Vakuum ausgeführt wird.
A method according to claim 1, characterised in that the step of doping the impurity of the second conductivity type in said metal silicide layer is performed by solid-phase diffusion.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Dotieren der Schicht aus dem Metallsilicid mit dem Fremdatom des zweiten Leitfähigkeitstyps durch Festphasendiffusion erfolgt.
A method according to claim 4, characterised in that the solid-phase diffusion is performed by diffusing the impurity of the second conductivity type in said metal silicide layer while the impurity of the second conductivity type is deposited on said metal silicide layer (21, 41).
Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Festphasendiffusion durch Diffundieren des Fremdatoms des zweiten Leitfähigkeitstyps in die Schicht aus dem Metallsilicid erfolgt, während das Fremdatom des zweiten Leitfähigkeitstyps auf der Schicht (21, 41) aus dem Metlalsilicid abgelagert wird.
The ink jet recording head as claimed in claim 30 wherein the additive is added to the upper electrode (80) by executing solid-phase diffusion from a layer placed on the upper electrode (80).
Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf nach Anspruch 30, wobei der Zusatzstoff zu der oberen Elektrode (80) durch Ausführen von Festphasendiffusion aus einer Schicht, die auf der oberen Elektrode (80) angeordnet ist, hinzugefügt wird.
A semiconductor device manufacturing method according to claim 4 wherein: doping of said impurity (19) for forming said first embedded diffusion layer (20) is carried out by solid-phase diffusion.
Halbleiterelement-Herstellungsverfahren nach Anspruch 4, wobei: das Dotieren der Verunreinigung (19) zum Bilden der ersten eingebetteten Diffusionsschicht (20) durch Festkörperphasendiffusion ausgerührt wird.
Input parameters, the Freundlich isotherm constants, and mass transfer coefficients for liquid- and solid-phase diffusion were determined and analysed for their influence on the shape of the breakthrough curve.
Der Einfluss der experimentell bestimmten Modelleingabeparameter wie der Freundlich-Isothermenkonstanten und der Stoffübergangskoeffizienten der Film- und Korndiffusion auf die Form der Durchbruchskurve wurde analysiert.
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Synoniemen voor solid-phase diffusion in het Engels