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Lösung zum Ätzen
The method according to claim 9, wherein said solution for etching the titanium and titanium-palladium alloy layers comprises from 0.5 to 2 and more weight percent HF.
Verfahren nach Anspruch 9, bei dem die Lösung zum Ätzen der Titan- und Titan-Palladium-Legierungsschichten 0,5 bis 2 und mehr Gewichtsprozent HF enthält.
Etching solution for etching porous silicon, etching method using the etching solution and method of preparing semiconductor member using the etching solution.
Ätzlösung für das Ätzen von porösem Silizium Ätzmethode unter Verwendung der Ätzlösung und Verfahren zur Vorbereitung einer Halbleiteranordnung unter Verwendung der Ätzlösung.
The diode system does offer a cost effective solution for etching of dielectrics with larger linewidths, but at a much slower rate, and cannot be used for etching of nanoscale features.
Die Diodenanlage bietet eine kosteneffektive Lösung für die Ätzung von Dielektrika mit größeren Linienstärken, aber mit einer viel langsameren Kinetik an und kann nicht für die Ätzung von nanoscale Merkmalen verwendet werden.
Etching solution for etching of photopolymeric films.
Ätzlösung zum Ätzen von Fotopolymerfilmen.
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