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substrate transporting and processing system
Vertaling van "substrate transporting and processing system" in Duits
Substrattransport- und Verarbeitungssystem
The substrate transporting and processing system according to Claim 1, which further comprises first transport means for delivering said substrate from said attitude changing means to said processing section, and second substrate transport means for delivering said substrate from said processing section to said attitude changing means.
Substrattransport- und Verarbeitungssystem nach Anspruch 1, welches weiterhin eine erste Transportvorrichtung zum Liefern des Substrates von der Ausrichtungsänderungsvorrichtung an den Verarbeitungsabschnitt aufweist, und eine zweite Substrattransportvorrichtung zum Liefern des Substrates von dem Verarbeitungsabschnitt zu der Ausrichtungsänderungsvorrichtung.
The substrate transporting and processing system according to Claim 1 or 2, wherein said substrate unloading means (14) and said substrate loading means (16) comprise substrate unloading/loading means having a substrate unloading section and a substrate loading section.
Substrattransport- und Verarbeitungssystem nach Anspruch 1 oder 2, bei welchem die Substratentladevorrichtung (14) und die Substratladevorrichtung (16) eine Substratentlade/Substratladevorrichtung aufweisen, die einen Substratentladeabschnitt und einen Substratladeabschnitt aufweisen.
The substrate transporting and processing system according to Claim 25, wherein said substrate delivery means (110) further comprises: a rotating part (114) for rotating () the supporting members and the horizontal moving part.
Substrattransport- und Verarbeitungssystem nach Anspruch 25, bei welchem die Substratliefervorrichtung (110) weiterhin aufweist: ein Drehteil (114) zum Drehen () der Halterungsteile und des horizontalen Bewegungsteiles.
The substrate transporting and processing system according to any one of Claims 1, 2 and 4, wherein said processing section has a processing bath for receiving said substrate, and a moving mechanism for transporting said substrate into and from said processing bath.
Substrattransport- und Verarbeitungssystem nach einem der Ansprüche 1, 2 und 4, bei welchem der Verarbeitungsabschnitt ein Verarbeitungsbad zur Aufnahme des Substrates aufweist, und einen Bewegungsmechanismus zum Transportieren des Substrates in das Verarbeitungsbad und aus diesem heraus.
The substrate transporting and processing system according to Claim 14, wherein said moving mechanism is formed so as to be capable of transporting said substrate into and from a plurality of processing baths.
Substrattransport- und Verarbeitungssystem nach Anspruch 14, bei welchem der Bewegungsmechanismus so ausgebildet ist, dass er das Substrat in mehrere Verarbeitungsbäder hineinund aus diesen heraustransportieren kann.
The substrate transporting and processing system according to any one of Claims 1, 2 and 4, wherein said supply section and said discharge section are provided in parallel, and said processing faces said supply and discharge sections.
Substrattransport- und Verarbeitungssystem nach eine der Ansprüche 1, 2 und 4, bei welchem der Zuführungsabschnitt und der Ausladeabschnitt parallel vorgesehen sind, und der Verarbeitungsabschnitt den Zuführungs- und Ausladeabschnitten gegenüberliegt.
The substrate transporting and processing system according to Claim 4, which further comprises a container waiting section provided along a transfer channel of said container transfer means.
Substrattransport- und Verarbeitungssystem nach Anspruch 4, welches weiterhin einen Behälterwarteabschnitt aufweist, der entlang einem Übertragungskanal der Behälterübertragungsvorrichtung vorgesehen ist.
The substrate transporting and processing system according to any one of Claims 1, 2 and 4, wherein said substrate unloading means and said substrate loading means are able to transport a plurality of substrates.
Substrattransport- und Verarbeitungssystem nach einem der Ansprüche 1, 2 und 4, bei welchem die Substratentladevorrichtung und die Substratladevorrichtung zum Transportieren mehrerer Substrate ausgebildet sind.
The substrate transporting and processing system according to Claim 8 or 9, wherein said container waiting section has container moving means for moving said container.
Substrattransport- und Verarbeitungssystem nach Anspruch 8 oder 9, bei welchem der Behälterwarteabschnitt eine Behälterbewegungsvorrichtung zum Bewegen des Behälters aufweist.
The substrate transporting and processing system according to any one of Claims 1, 2 and 4, which further comprises positioning means for positioning said substrate unloaded from said container.
Substrattransport- und Verarbeitungssystem nach einem der Ansprüche 1, 2 und 4, welches weiterhin eine Positionierungsvorrichtung zum Positionieren des von dem Behälter entladenen Substrats aufweist.
Substrate transporting and processing system
Vorrichtung zum Transportieren und Bearbeiten von Substraten
Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
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