Vertaling van "surface of the layer stack" in Duits
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Oberfläche des Schichtenstapels
Grenzfläche des Schichtstapels
Strahlungsaustrittsfläche des Schichtstapels
the radiation exit surface of the layer stack is preferably roughened.
As a means for facilitating the escape of photons of each means is adapted, which promotes the discharge of photons through the surface of the layer stack.
Als Einrichtung zur Erleichterung des Austritts von Photonen ist jedes Mittel geeignet, das den Austritt der Photonen durch die Oberfläche des Schichtenstapels fördert.
An advantageous further development of the method provides that, before application of the barrier layer, the boundary surface of the layer stack is in the region of the recess of the first mirror layer is damaged by a plasma process.
Eine vorteilhafte Weiterbildung des Verfahrens sieht vor, dass vor Aufbringen der Barriereschicht die Grenzfläche des Schichtstapels in dem Bereich der Aussparung der ersten Spiegelschicht durch einen Plasmaprozess beschädigt wird.
formed on the surface of the layer stack finely textured relief can be produced by roughening the surface or by an uneven micro-structuring of the surface.
Obliquely Ein auf der Oberfläche des Schichtenstapels ausgebildetes fein strukturiertes Relief kann durch Aufrauhen der Oberfläche oder durch eine unebene Mikrostrukturierung der Oberfläche erzeugt werden.
It is particularly advantageous when on the side facing the support surface of the layer stack, a reflector device is configured for reflecting the photons generated in the layer stack and impinging on said surface back into the layer stack (Photonen absorbierenden Material.
Besonders vorteilhaft ist es, wenn an der dem Trägerkörper zugekehrten Oberfläche des Schichtenstapels eine Reflektoreinrichtung zum Reflektieren der im Schichtenstapel erzeugten und auf diese Fläche treffenden Photonen zurück in den Schichtenstapel ausgebildet ist (Anspruch 2). claim 2).
further preferred embodiment provides that the boundary surface of the layer stack which faces the radiation exit surface opposite is changed in the region of the recess such that the boundary surface of the layer stack in the region of the recess is not electrically conductive.
A Eine weitere bevorzugte Ausgestaltung sieht vor, dass die Grenzfläche des Schichtstapels, die der Strahlungsaustrittsfläche gegenüber liegt, im Bereich der Aussparung derart verändert ist, dass die Grenzfläche des Schichtstapels im Bereich der Aussparung nicht elektrisch leitend ist.
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