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the first buffer layer
Vertaling van "the first buffer layer" in Duits
der ersten Pufferschicht
die erste Pufferschicht
The method of any foregoing claim, wherein said step of forming the first buffer layer (20) comprises depositing a layer of phospho-silicate glass.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Schritt des Bildens der ersten Pufferschicht (20) den Schritt umfaßt, eine Schicht aus Phosphor-Silikat-Glas abzulagern.
A method according to claim 2 wherein a further buffer layer (14) is formed over the semiconductor substrate (10) and the first buffer layer (12).
Verfahren nach Anspruch 2, wobei eine weitere Pufferschicht (14) über dem Halbleitersubstrat (10) und der ersten Pufferschicht (12) gebildet ist.
A method according to claim 3 wherein the first buffer layer (12) is composed of silicon dioxide and the further buffer layer (14) is composed of polycrystalline silicon.
Verfahren nach Anspruch 3, wobei die erste Pufferschicht (12) aus Siliziumdioxid und die weitere Pufferschicht (14) aus polykristallinem Silizium besteht.
A method as claimed in claim 1 wherein as protection (4) for the first buffer layer (3), the surface of the latter is changed by chemical treatment.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei als Schutz (4) für die erste Pufferschicht (3) deren Oberfläche durch chemische Behandlung verändert wird.
A method as claimed in claim 14 characterized in that said first temperature employed for growing the first buffer layer (24) and said third temperature employed for growing the device layer (36) are set to a same temperature.
Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet , daß die zum Aufwachsen der ersten Pufferschicht (24) verwendete erste Temperatur und die zum Aufwachsen der Bauelementenschicht (36) verwendete dritte Temperatur auf ein und dieselbe Temperatur eingestellt sind.
Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
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