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the interferometer system
Vertaling van "the interferometer system" in Duits
das Interferometersystem
A gas refractometer according to any preceding claims characterised in that the optical path lengths of the beam parts passing through the interferometer system include the same lengths of solid medium.
Gasrefraktometer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Weglängen der Strahlteile, die durch das Interferometersystem verlaufen, die gleichen Längen von Festmedium umfassen.
Further, the interferometer system in particular provides a detection beam path of the light returned by the object detection radiation.
Ferner stellt das Interferometersystem insbesondere einen Detektionsstrahlengang für die von dem Objekt zurückgeworfene Detektionsstrahlung bereit.
A lithographic projection apparatus as claimed in any one of claims 9 to 16, wherein the interferometer system has a measuring axis along which two measuring beams of different wavelengths propagate.
Lithographische Projektionsvorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 16, bei der das Interferometersystem eine Messachse aufweist, entlang der sich zwei Messstrahlen mit unterschiedlichen Wellenlängen ausbreiten.
An imaging system according to claim 4, in which the image detector means (2) comprise a pair of photosensitive detector arrays arranged to receive antiphase outputs from respective arms of the interferometer system.
Abbildungssystem nach Anspruch 4, in dem die Abbildungsnachweismittel (2) ein Paar lichtempfindliche Nachweisanordnungen umfassen, die angeordnet sind, um Gegenphasenausgaben von entsprechenden Armen des Interferometersystems zu empfangen.
A lithographic projection apparatus as claimed in claim 9, wherein the Z measuring mirror (260,265) for the interferometer system is arranged on the substrate holder at an angle of substantially 45º to the XY plane.
Lithographische Projektionsvorrichtung nach Anspruch 9, bei der der Z-Messspiegel (260,265) für das Interferometersystem auf dem Substrathalter unter einem Winkel von im wesentlichen 45º zur XY-Ebene angeordnet ist.
A device as claimed in Claim 5, 6 or 7, characterized in that the interferometer system has a sixth, reference, axis whose measuring beam cooperates with a stationary reflector.
Vorrichtung nach Anspruch 5, 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Interferometersystem eine sechste Achse, eine Referenzachse, aufweist, deren Meßstrahl mit einem stationären Reflektor zusammenwirkt.
In the interferometer system includes a second optical path extending from the optical radiation source through the first portion of the optical circulator to a reference location and the reference location through the second portion of the optical circulator to the optical detector.
Ein erster optischer Pfad erstreckt sich von der optischen Strahlungsquelle durch einen ersten Abschnitt des ersten optischen Zirkulators zu einem Probenort und von dem Probenort durch einen zweiten Abschnitt des optischen Zirkulators zu dem optischen Detektor.
Synoniemen voor the interferometer system in het Engels
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