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the patterned masking layer
Vertaling van "the patterned masking layer" in Duits
der strukturierten Maskierungsschicht
Method of claim 1, wherein forming the patterned masking layer includes forming the opening, between the first region and the each side region, having a width of about 10 to 30 microns.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Bilden der strukturierten Maskierungsschicht aufweist: Bilden der Öffnung, die eine Breite von ungefähr 10 bis 30 µm hat, zwischen dem ersten Bereich und jedem seitlichen Bereich.
Method of any of the claims 1 to 6, wherein forming the patterned masking layer includes depositing multiple layers of the same photoresist material over the substrate and heating each deposited layer prior to the deposition of a subsequent layer.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei das Bilden der strukturierten Maskierungsschicht aufweist: Abscheiden einer Vielzahl von Schichten aus dem gleichen Photoresistmaterial über dem Substratn und Erwärmen jeder abgeschiedenen Schicht vor dem Abscheiden einer nachfolgenden Schicht.
A method according to Claim 3 or Claim 4, characterized by the step of removing the patterned masking layer and underlying insulator layer material.
Verfahren nach Anspruch 3 oder Anspruch 4, gekennzeichnet durch den Schritt des Entfemens der strukturierten Maskierungsschicht und des darunter liegenden Isolatorschichtmaterials.
Method of any of the claims 1 to 7, wherein forming the patterned masking layer includes forming openings in the patterned masking layer exposing substrate regions surrounding each of the two side regions.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei das Bilden der strukturierten Maskierungsschicht aufweist: Bilden von Öffnungen in der strukturierten Maskierungsschicht unter Freilegen von Substratbereichen, die jeden von den zwei seitlichen Bereichen umgeben.
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