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the process modules
Vertaling van "the process modules" in Duits
die Prozessmodule
den Prozessmodulen
It finds the process modules that can carry out the work steps that it needs and that have available capacities.
Es findet selbst genau die Prozessmodule, die seine benötigten Arbeitsschritte ausführen können und freie Kapazitäten haben.
Preferably the carrier transport region forms a separation area for the process modules and an exchange region for substrates to each other carrying devices.
Dabei bildet vorzugsweise der Trägertransportbereich einen Trennbereich für die Prozessmodule und einen Austauschbereich für Substrate auf jeweils andere Trägervorrichtungen.
The robot has to be ultra-precise when placing wafers in the process modules.
Beim Ablegen der Wafer in den Prozessmodulen ist Präzision seitens des Roboters gefragt.
In addition, unmeasured parameters that reflect process operation may be calculated using an on-line process simulation provided in the process modules and may be shown as an integral part of the associated graphic displays.
Außerdem können nicht gemessene Parameter, die den Prozeßbetrieb reflektieren, unter Anwendung einer Online-Prozeßsimulation berechnet werden, die in den Prozeßmodulen vorgesehen ist, und können als ein integraler Teil der zugehörigen Grafikdisplays gezeigt werden.
While the process modules and process graphics are described above as being created together by the interconnection of different smart process objects, they may be created separately.
Die Prozeßmodule und Prozeßgrafik werden zwar oben als gemeinsam durch das Verknüpfen von verschiedenen intelligenten Prozeßobjekten erzeugt beschrieben, sie können aber auch separat erzeugt werden.
With a broad range of dispense systems like puddle or stream dispense, spray and high pressure nozzles the process modules can be configured for a wide variety of applications like photoresist develop, metal lift-off, cleaning or resist stripping.
Mit einer großen Palette an Spendesystemen wie Puddle- oder Strahlspender, Sprüh- und Hochdruckdüsen können die Prozessmodule für zahlreiche Applikationen wie Fotolackentwicklung, Metall-Lift-off, Reinigung oder Resist-Stripping konfiguriert werden.
The system according to claim 7, characterised in that the receiving device (34) for the connection unit (21; 76) is implemented on the process modules (1-4; 67-71).
System nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufnahmevorrichtung (34) für die Verbindungseinheit (21; 76) an den Prozessmodulen (1-4; 67-71) ausgebildet ist.
If desired, the process modules described herein may provide and simulate redundancy functions within a process control network or a process plant.
Falls gewünscht, können die Prozeßmodule Redundanzfunktionen innerhalb eines Prozeßsteuerungsnetzes oder einer Prozeßanlage bereitstellen und simulieren.
The internal cleaner motors located adjacent to, and below the process modules are protected from fluid intrusion and contact by the process level drip trays.
Die Innenmotoren der Reinigungseinheit, die sich neben und unter den Prozessmodulen befinden, sind durch die Abtropfschalen auf Prozessebene vor dem Eindringen von und Kontakt mit Flüssigkeit geschützt.
As part of this operation, the process modules may execute methods, called flow algorithms, that can be used to detect process conditions, especially on a system-level basis and to simulate the effect of process elements on the streams flowing through the plant.
Als Teil dieser Operation können die Prozeßmodule Methoden, die als Flußalgorithmen bezeichnet werden, ausführen, die dazu dienen können, Prozeßzustände zu detektieren, und zwar speziell auf Basis einer Systemebene, und die Wirkung von Prozeßelementen auf die durch die Anlage fließenden Ströme zu simulieren.
The Mesa has a provision for preventing concentrated chemical delivery directly to the process modules (only dilute chemistry is delivered).
Die Mesa verfügt über eine Vorrichtung, um eine Zufuhr konzentrierter Chemikalien direkt an die Prozessmodule zu verhindern (nur verdünnte Chemikalien werden zugeführt).
A software routine exists to purge and flush the LDM tanks and feeds to the process modules.
Es gibt eine Software-Routine, um die LDM-Tanks und Zufuhrleitungen zu den Prozessmodulen zu reinigen und zu spülen.
Critical and sensitive system components such as the process modules will be produced here, Gunter Fauth emphasizes.
Wesentliche und sensible Anlagenkomponenten wie die Prozessmodule werden hier produziert , betont Gunter Fauth, Vorstand Operations.
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Synoniemen voor the process modules in het Engels
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