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the second resist pattern
Vertaling van "the second resist pattern" in Duits
des zweiten Resistmusters
The method of one of claims 1 to 7, wherein the second resist pattern (32) is made from a negative resist.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei die zweite Lackstruktur (32) aus einem Negativlack hergestellt ist.
A method according to claim 1, characterized in that swelling and removal of the etching-resistive layer (20) are performed in a chamber independent of a chamber for removing the second resist pattern (14a).
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Quellung und Entfernung der ätzbeständigen Schicht (20) in einer von einer Kammer zur Entfernung des zweiten Resistmusters (14a) unabhängigen Kammer durchgeführt werden.
The method of Claim 10, wherein a size of the openings of the second resist pattern for forming contact holes is larger than a designed size of the contact holes in a direction vertical to a direction in which the upper-level metal interconnects extend.
Verfahren nach Anspruch 10, wobei eine Größe der Öffnungen des zweiten Resistmusters zur Ausbildung von Kontaktlöchern größer ist als eine entworfene Größe der Kontaktlöcher in einer Richtung, welche vertikal zu einer Richtung ist, in welcher sich die obere metallische Verbindung erstreckt.
The method of one of claims 1 to 5, wherein the resist structure (34) contains a third resist pattern (52) arranged on the second resist pattern (32) and having an overhang relative to the second resist pattern (32).
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei das Lackgebilde (34) eine dritte Lackstruktur (52) enthält, die auf der zweiten Lackstruktur (32) angeordnet ist und einen Überhang bezüglich der zweiten Lackstruktur (32) hat.
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