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Ultraschallsensorarray
An ultrasonic sensor array as in one of claims 6 to 12, in which an acoustically attenuating layer (54) is applied to said convex side (16).
Ein Ultraschallsensorarray nach einem der Ansprüche 6 bis 12, bei dem eine akustisch dämpfende Schicht (54) an der konvexen Seite (16) angebracht ist.
An ultrasonic sensor array as in Claim 10, in which said membrane is penetrated by pass-throughs (52) for said conductors (42), said pass-throughs (42) being hermetically sealed in said non-conducting central layer (48).
Ein Ultraschallsensorarray nach Anspruch 10, bei dem die Membran durch Durchgänge (52) für die Leiter (42) durchdrungen wird, wobei die Durchgänge (42) hermetisch in der nicht-leitfähigen mittleren Schicht (48) abgedichtet sind.
An ultrasonic sensor array as in Claim 6 or 7, in which at least one impedance matching layer (41) is bonded to said conductive coating (32) on said concave side (14).
Ein Ultraschallsensorarray nach Anspruch 6 oder 7, bei dem wenigstens eine Impedanzanpassungsschicht (41) mit der leitfähigen Schicht (32) auf der konkaven Seite (14) verbunden ist.
An ultrasonic sensor array as in Claim 11, in which said passthroughs (42) are formed photolithographically.
Ein Ultraschallsensorarray nach Anspruch 11, bei dem die Durchgänge (42) in photolithographischer Weise gebildet werden.
An ultrasonic sensor array as in Claim 6, in which said piezoelectric material is chosen from the group comprising lead zirconate titanate (PZT) and modified lead titanate (PbTiO₃).
Ein Ultraschallsensorarray nach Anspruch 6, bei dem das piezoelektrische Material von der Gruppe ausgewählt ist, welche Blei-Zirkonat-Titanat (PZT) und modifiziertes Blei-Titanat (PbTiO₃) umfaßt.
Ultrasonic sensor array for analysis of aqueous sugar-ethanol mixtures of fermented sugar industry Understanding the present distribution of parasitic weeds of the genus Striga and predicting its potential future geographic distribution in the light of climate and land use change
Ultraschallsensorarray zur Analyse von wässrigen Zucker-Ethanol-Gemischen für die Untersuchung und Quantifizierung der Rückkopplung zwischen der Atmosphäre und dem System Boden-Vegetation unter dem Einfluss des Klimawandels
A method of fabricating an ultrasonic sensor array (10) as in Claim 1 or 2 comprising the additional step of affixing a layer (41) having an acoustic matching impedance over said conductive coating (32).
Ein Verfahren zum Herstellen eines Ultraschallsensorarrays (10) nach Anspruch 1 oder 2, mit dem zusätzlichen Schritt des Anbringens einer Schicht (41) mit einer akustischen Anpassungsimpedanz über der leitfähigen Beschichtung (32).
The invention relates to an ultrasonic sensor, more particularly an ultrasonic sensor array (10) having a plurality of MEMS components (14).
Die Erfindung bezieht sich auf einen Ultraschallsensor, insbesondere ein Ultraschallsensorfeld (10) mit einer Anzahl von MEMS-Komponenten (14).
A PVDF foil (ultrasonic sensor array) lies (sticks) full-laminar on the cylinder wall.
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Synoniemen voor ultrasonic sensor array in het Engels