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obere Mantelschicht
A semiconductor laser element according to claim 1, characterised in that the upper clad layer (55a,55b) is formed of InGaP and has a GaAs etching stop layer (61) inserted therein.
Halbleiter-Laserelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die obere Mantelschicht (55a, 55b) aus InGaP gebildet ist und darin eine GaAs-Ätzungsstoppschicht (61) angeordnet ist.
A semiconductor laser device according to any preceding claim, characterised in that said amphoteric impurity substance comprises Si or C. A semiconductor laser device according to claim 8, characterised in that said upper clad layer (4) comprises Si-doped AlGaAs or Si-doped AlGaInAs.
Halbleiterlasereinrichtung nach einem vorangehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß die amphotere Störstellensubstanz Si oder C aufweist. Halbleiterlasereinrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die obere Mantelschicht (4) Si-dotiertes AlGaAs oder Si-dotiertes AlGaInAs aufweist.
An optical waveguide Y junction according to claim 1, wherein said waveguide paths are defined by core segments which are interposed between a substrate and upper clad layer.
Optischer Wellenleiter mit Y-Verzweigung nach Anspruch 1, wobei die Wellenleiterpfade definiert sind durch Kernsegmente, die zwischen einem Substrat und einer oberen Mantelschicht angeordnet sind.
7A to 7C, the lower clad layer 20, the core layer 30, and the first upper clad layer 40 are formed on the substrate 10.
Ein gestapelter Körper wird aus dem orientierten Metallsubstrat 10, der Zwischenschicht 20, der supraleitenden Oxidschicht 30 und der Schutzschicht 40, wie oben beschrieben, gebildet.
The method of claim 7, further comprising: e) depositing an upper clad layer on the amplification layer, so that said lower clad layer and said upper clad layer surround the core layer and amplification layer.
Verfahren nach Anspruch 7, das weiterhin aufweist: e) Niederschlagen einer oberen Hüllschicht auf der Verstärkungsschicht, so dass die untere Hüllschicht und die obere Hüllschicht die Kernschicht und die Verstärkungsschicht umgeben.
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